[发明专利]一种光刻机工作台的清洁装置有效
申请号: | 202210717425.9 | 申请日: | 2022-06-23 |
公开(公告)号: | CN114815524B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 李凯;汤丹丹 | 申请(专利权)人: | 江苏美信光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 南通和策知识产权代理事务所(普通合伙) 32608 | 代理人: | 翁斌 |
地址: | 226400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 机工 清洁 装置 | ||
1.一种光刻机工作台的清洁装置,包括移动机构,移动机构具有可在工作台(9)的顶部沿其长度方向移动的移动架(1a),其特征在于,清洁装置还包括旋转式吸尘机构和带式清洁机构,旋转式吸尘机构包括外管(2a)、内管(2b)和吸尘扁嘴(2c),外管(2a)转动设置在移动架(1a)内,外管(2a)沿工作台(9)的宽度方向水平延伸且两端封闭,内管(2b)固定设置在外管(2a)内,内管(2b)的一端与外管(2a)的内腔连通,内管(2b)的另一端贯穿外管(2a)的一端并与负压源连通,内管(2b)内设置有与其同轴的螺旋叶片(2b1),吸尘扁嘴(2c)等间距设置在外管(2a)外侧且与其内腔连通;带式清洁机构包括升降辊(3a)、张力辊(3b)、清洁带(3c)、升降驱动器(3d)和伺服电机(3e),升降辊(3a)和张力辊(3b)自下而上依次设置在移动架(1a)内,升降辊(3a)和张力辊(3b)沿工作台的宽度方向延伸,清洁带(3c)套设在升降辊(3a)和张力辊(3b)外,升降驱动器(3d)设置在升降辊(3a)和张力辊(3b)之间用以沿竖直移动升降辊(3a),伺服电机(3e)设置在移动架(1a)外用以驱动升降辊(3a)和张力辊(3b)转动。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机工作台的清洁装置,其特征在于,带式清洁机构还包括牵引辊(3f)和清洁辊(3g),牵引辊(3f)和清洁辊(3g)沿工作台(9)的宽度方向延伸并设置在移动架(1a)内,清洁带(3c)套设在升降辊(3a)、张力辊(3b)和牵引辊(3f)上,清洁辊(3g)位于张力辊(3b)和清洁带(3c)之间,且清洁辊(3g)抵接在清洁带(3c)的外面,清洁辊(3g)的圆周面上沿螺旋线均匀布置有凸块(3g1)。
3.根据权利要求1或2所述的一种光刻机工作台的清洁装置,其特征在于,外管(2a)的两端设置有封堵其内腔并与移动架(1a)转动配合的封塞(2a1),内管(2b)的端面沿周向布置有沿其周向延伸的卡槽(2b2);旋转式吸尘机构还包括第一卡块和第二卡块,第一卡板包括沿内管(2b)轴向卡接其一端卡槽(2b2)的第一卡板(2d1),以及连通内管(2b)内腔和外管(2a)内腔的通气槽(2d2),以及与封塞(2a1)卡接的第一嵌合块(2d3),第二卡块包括沿内管(2b)轴向卡接其另一端卡槽(2b2)的第二卡板(2e1),以及封闭内管(2b)另一端的封堵圈(2e2),以及与另一块封塞(2a1)卡接的第二嵌合块(2e3),以及连通内管(2b)内腔和外界负压源的气道(2e4)。
4.根据权利要求3所述的一种光刻机工作台的清洁装置,其特征在于,封塞(2a1)的朝向外管(2a)内腔的一端设有与其嵌合的凸台(2a2),凸台(2a2)上布置有沿内管(2b)的径向延伸的内螺纹孔(2a3),旋转式吸尘机构还包括螺栓(2f),螺栓(2f)贯穿外管(2a)并与内螺纹孔(2a3)同轴拧接。
5.根据权利要求1或2所述的一种光刻机工作台的清洁装置,其特征在于,移动架(1a)内还设有沿工作台(9)的宽度方向延伸的横板(1a1),升降驱动器(3d)包括双轴推杆(3h)和第一连杆(3i),双轴推杆(3h)设置在横板(1a1)的底端,双轴推杆(3h)沿工作台(9)的宽度方向延伸,双轴推杆(3h)的两端具有可相向或背向移动的第一执行杆(3h1)和第二执行杆(3h2),第一连接架(3k)通过导轨(3j)沿竖直方向滑动设置在移动架(1a)内,升降辊(3a)转动设置在第一连接架(3k)上,第一执行杆和第二执行杆的一端分别与两个第一连杆(3i)的一端转动连接,两个第一连杆(3i)的另一端分别与第一连接架(3k)的顶端两侧转动连接。
6.根据权利要求5所述的一种光刻机工作台的清洁装置,其特征在于,第一连杆(3i)为气弹簧。
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