[发明专利]一种光刻机工作台的清洁装置

权利要求书

1.一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构，移动机构具有可在工作台（9）的顶部沿其长度方向移动的移动架（1a），其特征在于，清洁装置还包括旋转式吸尘机构和带式清洁机构，旋转式吸尘机构包括外管（2a）、内管（2b）和吸尘扁嘴（2c），外管（2a）转动设置在移动架（1a）内，外管（2a）沿工作台（9）的宽度方向水平延伸且两端封闭，内管（2b）固定设置在外管（2a）内，内管（2b）的一端与外管（2a）的内腔连通，内管（2b）的另一端贯穿外管（2a）的一端并与负压源连通，内管（2b）内设置有与其同轴的螺旋叶片（2b1），吸尘扁嘴（2c）等间距设置在外管（2a）外侧且与其内腔连通；带式清洁机构包括升降辊（3a）、张力辊（3b）、清洁带（3c）、升降驱动器（3d）和伺服电机（3e），升降辊（3a）和张力辊（3b）自下而上依次设置在移动架（1a）内，升降辊（3a）和张力辊（3b）沿工作台的宽度方向延伸，清洁带（3c）套设在升降辊（3a）和张力辊（3b）外，升降驱动器（3d）设置在升降辊（3a）和张力辊（3b）之间用以沿竖直移动升降辊（3a），伺服电机（3e）设置在移动架（1a）外用以驱动升降辊（3a）和张力辊（3b）转动。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，带式清洁机构还包括牵引辊（3f）和清洁辊（3g），牵引辊（3f）和清洁辊（3g）沿工作台（9）的宽度方向延伸并设置在移动架（1a）内，清洁带（3c）套设在升降辊（3a）、张力辊（3b）和牵引辊（3f）上，清洁辊（3g）位于张力辊（3b）和清洁带（3c）之间，且清洁辊（3g）抵接在清洁带（3c）的外面，清洁辊（3g）的圆周面上沿螺旋线均匀布置有凸块（3g1）。

3.根据权利要求1或2所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，外管（2a）的两端设置有封堵其内腔并与移动架（1a）转动配合的封塞（2a1），内管（2b）的端面沿周向布置有沿其周向延伸的卡槽（2b2）；旋转式吸尘机构还包括第一卡块和第二卡块，第一卡板包括沿内管（2b）轴向卡接其一端卡槽（2b2）的第一卡板（2d1），以及连通内管（2b）内腔和外管（2a）内腔的通气槽（2d2），以及与封塞（2a1）卡接的第一嵌合块（2d3），第二卡块包括沿内管（2b）轴向卡接其另一端卡槽（2b2）的第二卡板（2e1），以及封闭内管（2b）另一端的封堵圈（2e2），以及与另一块封塞（2a1）卡接的第二嵌合块（2e3），以及连通内管（2b）内腔和外界负压源的气道（2e4）。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，封塞（2a1）的朝向外管（2a）内腔的一端设有与其嵌合的凸台（2a2），凸台（2a2）上布置有沿内管（2b）的径向延伸的内螺纹孔（2a3），旋转式吸尘机构还包括螺栓（2f），螺栓（2f）贯穿外管（2a）并与内螺纹孔（2a3）同轴拧接。

5.根据权利要求1或2所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，移动架（1a）内还设有沿工作台（9）的宽度方向延伸的横板（1a1），升降驱动器（3d）包括双轴推杆（3h）和第一连杆（3i），双轴推杆（3h）设置在横板（1a1）的底端，双轴推杆（3h）沿工作台（9）的宽度方向延伸，双轴推杆（3h）的两端具有可相向或背向移动的第一执行杆（3h1）和第二执行杆（3h2），第一连接架（3k）通过导轨（3j）沿竖直方向滑动设置在移动架（1a）内，升降辊（3a）转动设置在第一连接架（3k）上，第一执行杆和第二执行杆的一端分别与两个第一连杆（3i）的一端转动连接，两个第一连杆（3i）的另一端分别与第一连接架（3k）的顶端两侧转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，第一连杆（3i）为气弹簧。