[发明专利]一种光刻机工作台的清洁装置

说明书

本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设在移动架内，内管固定设在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设有螺旋叶片，吸尘扁嘴等距设在外管外侧；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊设在移动架内，清洁带设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设在升降辊和张力辊间，伺服电机设在移动架外，本申请通过旋转式吸尘机构可对工作台形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，通过带式清洁机构去除工作台粘着性异物。

技术领域

本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置。

背景技术

在平板显示的TFT（薄膜晶体管，英文全称：ThinFilmTransistor）面板制造制程中，TFT器件的每层图形目前基本上都是靠步进扫描光刻设备来完成的，在通常生产过程中这种机台的清洁频度一般为半个月一次或者一个月一次，但是，生产过程中工件台经常还有其它的突发污染，如：光阻污染，粉尘污染（包含机台内金属粉尘和外来异物等）以及破片污染的情况。如果不及时清理污染，会直接影响后续产品的质量，引起线宽异常或者缺陷的存在，进而造成产品的良率下降，所以制程人员还要经常对工件台进行清洁处理。

在清洁过程中，由于该设备的光学镜头与工件台之间距离不大，在这两者之间还有一些对准和调焦装置，所剩工件台上方的高度空间很小，一般平板显示TFT面板制造厂家的制程人员靠爬扶在工件台的支撑架上，身体弯曲在对准和调焦装置下方来实施人工清洁动作，费时费力，并且，如果擦拭人员不小心还有可能触碰到周围的精密元件，造成机器损坏。

中国专利CN201310192707.2公开了一种光刻机工件台的清洁装置及方法，该清洁装置包括：导杆，设置于工件台的旁侧；清洁滚筒机构，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；吸尘风刀，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；清洁液喷淋液刀，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及驱动机构，驱动所述吸尘风刀和/或清洁滚筒机构沿所述导轨移动。本发明采用吸尘风刀和清洁滚筒机构结合的清洁方式代替传统的人工擦拭，解决了擦拭空间狭小而造成的操作不便的问题，可以节省工艺停止时间，提高产能，同时降低人员操作可能引起的周围紧密设备元件损伤的风险。

该清洁装置无法对工作台形成脉冲负压吸附，且清洁滚筒无法有效刮除工作台上的粘着性异物。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种光刻机工作台的清洁装置。

为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有可在工作台的顶部沿其长度方向移动的移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设置在移动架内，外管沿工作台的宽度方向水平延伸且两端封闭，内管固定设置在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设置有与其同轴的螺旋叶片，吸尘扁嘴等间距设置在外管外侧且与其内腔连通；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊自下而上依次设置在移动架内，升降辊和张力辊沿工作台的宽度方向延伸，清洁带套设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设置在升降辊和张力辊之间用以沿竖直移动升降辊，伺服电机设置在移动架外用以驱动升降辊和张力辊转动。

优选地，带式清洁机构还包括牵引辊和清洁辊，牵引辊和清洁辊沿工作台的宽度方向延伸并设置在移动架内，清洁带套设在升降辊、张力辊和牵引辊上，清洁辊位于张力辊和清洁带之间，且清洁辊抵接在清洁带的外面，清洁辊的圆周面上沿螺旋线均匀布置有凸块。