[发明专利]掩模板框架及掩模板组件在审
申请号: | 202210726300.2 | 申请日: | 2022-06-23 |
公开(公告)号: | CN115110028A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 赵莹;张磊;王盼盼;李慧;朱修剑 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模板 框架 组件 | ||
1.一种掩模板框架,用于使掩模板张网于所述掩模板框架上,所述掩模板的相对两端具有焊接部;其特征在于,所述掩模板框架具有镂空部,所述掩模板框架用于与所述掩模板接触的表面包括焊接区和支撑区,所述支撑区位于所述焊接区靠近所述镂空部的一侧,且所述支撑区具有凹凸结构,以向所述焊接部提供阻止褶皱生成的作用力。
2.根据权利要求1所述的掩模板框架,其特征在于,所述支撑区具有波浪形表面,以形成所述凹凸结构;所述波浪形表面的形状与所述焊接部的仿真焊接生成的褶皱形状呈镜像,用于向所述焊接部提供阻止褶皱生成的作用力;
可选地,所述波浪形表面的峰值点所在的高度不高于所述焊接区所在的高度。
3.根据权利要求1所述的掩模板框架,其特征在于,所述掩模板框架包括一体成型的框架主体,所述框架主体包括相对的两个第一侧边框,且两个所述第一侧边框间隔设置,所述第一侧边框朝向所述焊接部的表面包括所述焊接区和所述支撑区。
4.根据权利要求1所述的掩模板框架,其特征在于,所述掩模板框架包括:
框架主体,所述框架主体包括相对的两个第一侧边框,且两个所述第一侧边框间隔设置,所述第一侧边框朝向所述焊接部的表面为所述焊接区;
承载单元,可拆卸设置于所述第一侧边框靠近所述镂空部的一侧;其中,所述承载单元朝向所述焊接部的表面为所述支撑区;
可选地,所述承载单元的材质为金属材质或硅胶材质。
5.根据权利要求4所述的掩模板框架,其特征在于,所述第一侧边框靠近所述镂空部的表面为平面,所述承载单元固定连接于所述第一侧边框靠近所述镂空部的表面;或
所述第一侧边框靠近所述镂空部的一侧形成台阶结构,所述台阶结构具有上台阶面和下台阶面,所述上台阶面具有所述焊接区,所述承载单元设置于所述下台阶面上。
6.根据权利要求5所述的掩模板框架,其特征在于,所述承载单元整个设置于所述下台阶面上;或
所述承载单元部分设置于所述下台阶面上,部分延伸出所述下台阶面悬空设置。
7.根据权利要求4所述的掩模板框架,其特征在于,所述掩模板框架具有多个阵列排布的子镂空部,一个所述掩模板对应同一列所述子镂空部设置;沿着列方向,同一列所述子镂空部的两侧分别设置一个所述承载单元。
8.根据权利要求4所述的掩模板框架,其特征在于,所述框架主体的外表面具有环形凸缘。
9.一种掩模板组件,其特征在于,包括:
掩模板框架,为如权利要求1-8中任一项所述的掩模板框架;
掩模板,设置于所述掩模板框架上;所述掩模板的相对两端具有焊接部,所述焊接部焊接固定于所述焊接区且被所述凹凸结构支撑。
10.根据权利要求9所述的掩模板组件,其特征在于,所述掩模板框架为如权利要求4-8中任一项所述的掩模板框架;多个所述掩模板并排设置于所述掩模板框架上;所述掩模板的两个所述焊接部之间具有有效蒸镀区,所述承载单元与所述有效蒸镀区间隔设置。
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