[发明专利]掩模板框架及掩模板组件在审
申请号: | 202210726300.2 | 申请日: | 2022-06-23 |
公开(公告)号: | CN115110028A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 赵莹;张磊;王盼盼;李慧;朱修剑 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 230001 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模板 框架 组件 | ||
本申请提供一种掩模板框架及掩模板组件,该掩模板框架用于使掩模板张网于掩模板框架上,掩模板相对两端具有焊接部;其中,掩模板框架具有镂空部,掩模板框架用于与掩模板接触的表面包括焊接区和支撑区,支撑区位于焊接区靠近镂空部的一侧,且支撑区具有凹凸结构,以向焊接部提供阻止褶皱生成的作用力。该掩模板框架可有效防止掩模板因焊接而产生褶皱和/或褶皱向掩模板的有效蒸镀区延伸,蒸镀精度较高。
技术领域
本发明涉及显示器制造技术领域,尤其涉及一种掩模板及掩模板组件。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二级管)因其响应时间快、可视角度大、对比度高、重量轻、功耗低等优势,成为最具发展潜力的显示器件。
OLED材料的形成是通过掩模板蒸镀工艺形成的。掩模板的载体是开口的框架。目前,产线使用的框架,其上表面具有一较宽的平面,焊接上掩模板后,此平面会和掩模板表面紧密接触。
然而,在将掩模板焊接于掩模板框架上时,由于当前的焊接方式,会导致焊点附近的部分掩模板褶皱延伸至有效蒸镀区,造成掩模板有效蒸镀区与产品基板的待蒸镀区对位偏差较大,蒸镀精度较差,引起显示面板的显示不良问题,导致产品良率下降。
发明内容
本申请实施例提供的掩模板框架及掩模板组件,旨在解掩模板因焊接导致焊点附近的部分掩模板褶皱延伸至有效蒸镀区,造成掩模板有效蒸镀区与产品基板的待蒸镀区对位偏差较大,蒸镀精度较差,引起显示面板的显示不良的问题。
为解决上述技术问题,本申请采用的一个技术方案是:提供一种掩模板框架。该掩模板框架用于使掩模板张网于所述掩模板框架上,所述掩模板的相对两端具有焊接部;其中,所述掩模板框架具有镂空部,所述掩模板框架用于与所述掩模板接触的表面包括焊接区和支撑区,所述支撑区位于所述焊接区靠近所述镂空部的一侧,且所述支撑区具有凹凸结构,以向所述焊接部提供阻止褶皱生成的作用力。
其中,所述支撑区具有波浪形表面,以形成所述凹凸结构;所述波浪形表面的形状与所述焊接部的仿真焊接生成的褶皱形状呈镜像,用于向所述焊接部提供阻止褶皱生成的作用力;
可选地,所述波浪形表面的峰值点所在的高度,不高于所述焊接区所在的高度。
其中,所述掩模板框架包括一体成型的框架主体,所述框架主体包括相对的两个第一侧边框,且两个所述第一侧边框间隔设置,所述第一侧边框朝向所述焊接部的表面包括所述焊接区和所述支撑区。
其中,所述掩模板框架包括:
框架主体,所述框架主体包括相对的两个第一侧边框,且两个所述第一侧边框间隔设置,所述第一侧边框朝向所述焊接部的表面为所述焊接区;
承载单元,可拆卸设置于所述第一侧边框靠近所述镂空部的一侧;其中,所述承载单元朝向所述焊接部的表面为所述支撑区;
可选地,所述承载单元的材质为金属材质或硅胶材质。
其中,所述第一侧边框靠近所述镂空部的表面为平面,所述承载单元固定连接于所述第一侧边框靠近所述镂空部的表面;或
所述第一侧边框靠近镂空部的一侧形成台阶结构,所述台阶结构具有上台阶面和下台阶面,所述上台阶面具有所述焊接区,所述承载单元设置于所述下台界面上。
其中,所述承载单元整个设置于所述下台阶面上;或,所述承载单元部分设置于所述下台阶面上,部分延伸出所述下台阶面悬空设置。
其中,所述掩模板框架具有多个阵列排布的子镂空部,一个所述掩模板对应同一列所述子镂空部设置;沿着列方向,同一列所述子镂空部的两侧分别设置一个所述承载单元。
其中,所述框架主体的外表面具有环形凸缘。
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