[发明专利]一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置

权利要求书

1.一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：包括：

反应仓(1)，反应仓(1)的内部设置有活塞杆(5)；

活塞杆(5)，活塞杆(5)的表面设置有连接杆(6)，连接杆(6)的端部安装有收集架(24)，收集架(24)的顶部安装有第一立杆(7)，第一立杆(7)的顶部设置有立杆(13)，立杆(13)的顶部设置有伸缩杆(10)，伸缩杆(10)的端部安装有清理板(9)；及

气缸(3)，设于反应仓(1)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述反应仓(1)的顶部安装有连接管(2)，连接管(2)的内部为空，连接管(2)的内部与反应仓(1)的内部相通，气缸(3)的顶部与活塞杆(5)相连，活塞杆(5)在气缸(3)的驱动下进行上下的的升降。

3.根据权利要求1所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述连接杆(6)具有四组，收集架(24)呈环形，收集架(24)的顶部开设有收集槽(8)，收集架(24)的顶部安装有第二立板(23)，第二立板(23)紧靠着反应仓(1)的内壁，第二立板(23)的高度与第一立杆(7)的高度一致。

4.根据权利要求3所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述立杆(13)具有多组，均匀的安装在第一立杆(7)的顶部，立杆(13)的顶部开设有插接孔(25)，伸缩杆(10)插接在插接孔(25)中，且伸缩杆(10)可在插接孔(25)中滑动，伸缩杆(10)的端部安装有限位板(15)。

5.根据权利要求4所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述伸缩杆(10)的外部设置有弹簧(14)，弹簧(14)的一端连接着限位板(15)的表面，另一端连接着立杆(13)的表面，立杆(13)的表面安装有支撑杆(12)，支撑杆(12)的端部安装有支撑环(11)，支撑环(11)套设在伸缩杆(10)的外部，伸缩杆(10)可在支撑环(11)内部移动。

6.根据权利要求1所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述清理板(9)的表面安装有第一刮除杆(16)，第一刮除杆(16)具有多组，第一刮除杆(16)均匀的排列在清理板(9)的表面，第一刮除杆(16)的端部安装有延伸板(20)，延伸板(20)具有两组，位于第一刮除杆(16)的两端，延伸板(20)的表面安装有第二刮除杆(21)。

7.根据权利要求6所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述清理板(9)的表面安装有刮除板(17)，刮除板(17)位于第一刮除杆(16)的底部，刮除板(17)的表面开设有通孔(22)，通孔(22)具有多组，多组通孔(22)均匀的排列在刮除板(17)的表面。

8.根据权利要求7所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述刮除板(17)的底部安装有第一毛刷(18)，第一毛刷(18)具有多组，多组第一毛刷(18)具有的排列在清理板(9)的表面，第一毛刷(18)之间设置有距离。

9.根据权利要求8所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述第一毛刷(18)的底部设置有第二毛刷(19)，第二毛刷(19)具有多组，多组第二毛刷(19)均匀的排列在清理板(9)的表面，每组第二毛刷(19)位于第一毛刷(18)之间空隙的位置。

10.根据权利要求2所述的一种用于航空材料的等离子体气相沉积装置，其特征在于：所述活塞杆(5)的顶部设置有样品台(4)，样品放置在样品台(4)的顶部，样品台(4)跟随着活塞杆(5)在反应仓(1)的内部升降。