[发明专利]扫描电镜二次电子探测器

权利要求书

1.一种扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，包括：

筒体组件，所述筒体组件内形成第一容纳空间，所述第一容纳空间的轴向两端敞开，所述筒体组件的周壁具有贯穿孔；

栅网组件，所述栅网组件设于所述筒体组件的轴向一端；

导光柱，所述导光柱设于所述第一容纳空间内；

闪烁体，所述闪烁体设于所述导光柱的朝向所述栅网组件的一侧，并与所述导光柱止抵；

高压线，所述高压线设于所述第一容纳空间内，所述高压线的一端适于与所述闪烁体电连接；

馈电组件，所述馈电组件的馈电端具有馈口，所述馈口内具有馈电针，所述高压线的另一端穿过所述贯穿孔与所述馈电针连接；

KF法兰支架，所述KF法兰支架设于所述馈电端和所述筒体组件之间；

紧固件，所述紧固件设于所述馈电端的远离所述筒体组件中心线的一侧，所述紧固件上设有供所述馈电组件穿过的避让孔，所述紧固件与所述筒体组件连接用于将所述馈电组件和所述KF法兰支架固定于所述筒体组件；

外壳，所述外壳具有第二容纳空间，所述外壳的一端与所述筒体组件的远离所述栅网组件的一端连接，所述第一容纳空间和所述第二容纳空间连通；

光电倍增管，所述光电倍增管设于所述第二容纳空间内，所述导光柱的远离所述闪烁体的一端伸入所述第二容纳空间内与所述光电倍增管止抵；

电源，所述电源设于所述第二容纳空间内且位于所述光电倍增管的远离所述导光柱的一侧且与所述光电倍增管连接。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述筒体组件包括：

屏蔽筒，所述栅网组件设于所述屏蔽筒轴向方向的一端；

法兰，所述法兰与所述屏蔽筒的远离所述栅网组件的一端连接；

压盖，所述压盖与所述法兰的远离所述屏蔽筒的一端连接，所述压盖、所述法兰和所述屏蔽筒限定出所述第一容纳空间，所述贯穿孔设于所述压盖上。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述扫描电镜二次电子探测器还包括导向块，所述导向块套固定设于所述第一容纳空间内且套设于所述导光柱上，所述导向块的周壁上具有沿所述导向块的轴向方向延伸的导向凸起，所述屏蔽筒、所述法兰和所述压盖中的至少一个的内周壁设有与所述导向凸起配合的导向槽。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述导向块包括第一导向段和第二导向段，所述第一导向段位于所述第二导向段的远离所述栅网组件的一端，所述第一导向段的外周壁的径向尺寸大于所述第二导向段的外周壁的径向尺寸，所述第一导向段的朝向所述第二导向段的表面与所述屏蔽筒的远离所述栅网组件的一端止抵。

5.根据权利要求3所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述导光柱的外周壁上设有沿所述导光柱的周向方向延伸的限位凸起，所述限位凸起与所述导向块的远离所述栅网组件的一端止抵。

6.根据权利要求3所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述导向块的周壁上设有沿所述导向块的轴向方向延伸的供所述高压线通过的避让通道，所述避让通道从所述导向块的轴向一端延伸至另一端。

7.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述筒体组件和所述栅网组件中的一个上设有第一定位缺口，另一个上设有与所述第一定位缺口配合的第一定位凸起。

8.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述栅网组件包括：

金属支架，所述金属支架设于所述筒体组件上；

栅网，所述栅网设于所述金属支架上；

绝缘圈，所述绝缘圈设于所述金属支架和所述筒体组件之间。

9.根据权利要求8所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述金属支架和所述绝缘圈中的一个上设有第二定位缺口，另一个上设有与所述第二定位缺口配合的第二定位凸起。

10.根据权利要求1所述的扫描电镜二次电子探测器，其特征在于，所述扫描电镜二次电子探测器还包括：

导电环，所述导电环套设于所述导光柱上，所述高压线位于所述导电环和所述导光柱之间；

支撑环，所述支撑环套设于所述导电环和所述导光柱外，所述闪烁体固定于所述支撑环内；

锁紧件，所述锁紧件穿设在所述支撑环上且一端与所述导电环止抵。