[发明专利]一种用于半导体晶圆生产的研磨装置

说明书

本发明公开了一种用于半导体晶圆生产的研磨装置，包括第一直线滑轨、第一滑块、箱体和方形管，所述箱体的底端固定连接有底盒，同时箱体的一侧设置有箱门，箱体的内部底端对称设置有第二直线滑轨，且第二直线滑轨上滑动连接有第二滑块，第二滑块的顶端固定连接在承重板上，承重板的中心处开设有方形孔，且该方形孔的内部放置有方形管，方形管的顶端固定连接在放置板上，放置板的顶端两侧分别开设有放置槽，同时承重板的底端四角分别固定连接有连接腿，该装置，通过利用设置的限位柱对研磨砂轮上安装的连接管进行限位工作，即可完成限位固定的工作，改变了现有对研磨砂轮进行安装固定的方式，从而便于对研磨砂轮进行拆装，进而提高了工作效率。

技术领域

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体为一种用于半导体晶圆生产的研磨装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC 产品，在生产晶圆的过程中，需要对晶圆进行研磨处理，但现有的研磨装置在对晶圆进行研磨的过程中，需要定期的更换研磨砂轮，但现有的固定方式通常采用螺栓的方式进行固定，在拆装的过程中，极大的浪费了拆装时间，进而降低了工作效率，因此设计一种用于半导体晶圆生产的研磨装置是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于半导体晶圆生产的研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于半导体晶圆生产的研磨装置，包括转动盘、底盒、连接杆、第一直线滑轨、第一滑块、第一气缸、底板、连接腿、第二直线滑轨、推板、放置板、研磨砂轮、升降杆、限位块、第一皮带轮、研磨电机、箱体、方形管、滑动电机、T 型杆、固定管、

限位柱、连接轴、移动块、承重板、固定板、连接管、转动块、卡块、竖直杆、第二气缸、箱门、第二皮带轮、固定轴、双向丝杆、延长管、套管、第一限位管、第二限位管、弹簧、挡圈、第一侧板、圆形板、第二滑块和第二侧板，所述箱体的底端固定连接有底盒，同时箱体的一侧设置有箱门，箱体的内部底端对称设置有第二直线滑轨，且第二直线滑轨上滑动连接有第二滑块，第二滑块的顶端固定连接在承重板上，承重板的中心处开设有方形孔，且该方形孔的内部放置有方形管，方形管的顶端固定连接在放置板上，放置板的顶端两侧分别开设有放置槽，同时承重板的底端四角分别固定连接有连接腿，连接腿的底端固定连接有底板，底板的顶端中心处固定连接有第一气缸，第一气缸的活动端固定连接有推板，同时推板位于方形管的内部，箱体与连接腿的连接处开设有通孔，底板的底端固定连接有第一滑块，第一滑块

位于第一直线滑轨上，第一直线滑轨固定连接在底盒的内部底端，第一滑块的一侧铰接有连接杆的一端，连接杆的另一端转动连接有T 型杆，T 型杆固定连接在转动盘的一侧边缘处，转动盘套接固定在滑动电机的输出端上，滑动电机设置在底盒的内部底端一侧。

优选的，所述箱体的内部顶端对称固定安装有竖直杆，竖直杆上滑动连接有限位块，限位块的顶端固定连接有第二气缸，第二气缸的顶端固定连接在箱体的内部顶端。

优选的，所述限位块上固定连接有升降杆，升降杆的底端固定连接在套管上，套管的内部转动连接有延长管，延长管的一端固定连接在圆形板上，圆形板固定连接在第一侧板上，第一侧板套接固定在固定管的内部一端。

优选的，所述第一侧板上滑动连接有第二限位管，第二限位管的一端固定连接在挡圈上，挡圈的中心处开设的方形孔配合连接有第一限位管。优选的，所述第一限位管套接固定在双向丝杆的一端，同时第二限位管的另一端固定连接在转动块上，且转动块的两侧固定连接有卡块，且卡块和转动块位于圆形板上开设的凹槽内，同时圆形板和第一侧板与第二限位管的连接处开设有通孔，第一限位管上绕接有弹簧，且第一限位管靠近转动块的一端套接固定有挡环，同时弹簧位于挡圈和该挡环之间。