[发明专利]发光芯片制作方法及发光芯片在审
申请号: | 202210765246.2 | 申请日: | 2022-06-30 |
公开(公告)号: | CN115050862A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 付小朝;庄文荣 | 申请(专利权)人: | 东莞市中麒光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/50 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 龙莉苹 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 芯片 制作方法 | ||
本发明公开了一种发光芯片制作方法,包括提供制备有晶粒的生长衬底,将所述生长衬底的厚度从所述生长衬底远离晶粒的第一面减薄至第一目标厚度;将厚度减薄至第一目标厚度的所述生长衬底的第一面与量子点色转换层键合,以使所述量子点色转换层与所述晶粒被减薄后的所述生长衬底间隔,所述晶粒发出的光可穿过减薄后的生长衬底进入所述量子点色转换层。同时,本发明还提供一种采用该制作方法制成的发光芯片。与现有技术相比,本发明工序简单,成品率高且可保证量子点的色转换效率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种发光芯片制作方法及发光芯片。
背景技术
量子点(quantum dot,简称QD)材料由于其优异的光电特性,具有色纯度高、发光颜色可调和荧光量子产率高等特点,目前,量子点材料的显示应用主要是基于其色转换特性,通常,用紫外光或蓝光作为激发源,采用绿光、红光量子点将激发光线转换为所需的绿光或红光。量子点遇水分、遇热会导致荧光性能急剧下降,同时稳定性也会降低,量子点怕水怕热这一特性很大程度上制约了量子点发光芯片的工艺制程。
参考中国专利CN202111004407,公开了一种芯片制作方法,包括:在第一衬底上形成各个子像素的发光功能层,以制成外延片,通过健合胶将外延片转移到第二衬底上,剥离第一衬底,通过贴合胶将色转换层盖板的色转换层贴合在外延片的出光侧,解健合去除外延片的第二衬底,再切割形成独立的芯片结果。这种方案将第二衬底作为转移载板,可实现大规模的晶粒转移,但不可避免的需要对形成发光功能层的第一衬底(生长衬底)进行剥离,当前常用激光剥离(LLO,Laser lift off),激光剥离会对发光功能层和第一衬底之间的界面造成一定损伤,即发光功能层的出光面质量会有所下降。再者,该方法制成的芯片结构中,发光功能层的出光侧通过永久键合的贴合胶直接临近色转换层,基于量子点遇热会导致荧光性能急剧下降的问题,这种方法制成的芯片耐热性差,发光效果差。
故,急需一种可解决上述问题的发光芯片制作方法及发光芯片。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可以避免温度因素影响量子点且工艺工序少、成品率高的发光芯片制作方法及采用该制作方法制成的发光芯片。
为实现上述目的,本发明公开了一种发光芯片制作方法,包括:提供制备有晶粒的生长衬底,将所述生长衬底的厚度从所述生长衬底远离晶粒的第一面减薄至第一目标厚度;将厚度减薄至第一目标厚度的所述生长衬底的第一面与量子点色转换层键合,以使所述量子点色转换层与所述晶粒被减薄后的所述生长衬底间隔,所述晶粒发出的光可穿过减薄后的所述生长衬底进入所述量子点色转换层。
较佳地,所述量子点色转换层包括具有多孔洞结构的基板和填充于所述多孔洞结构中的量子点,所述量子点色转换层的两相对侧面分别为具有多孔洞结构的第一面和远离多孔洞结构的第二面。
具体地,所述生长衬底的第一面与所述量子点色转换层的第一面键合,或者所述生长衬底的第一面与所述量子点色转换层的第二面键合。
具体地,所述制作方法还包括制备所述量子点色转换层,具体包括:将具有多孔洞结构的基板的厚度减薄至第二目标厚度;在厚度减薄至所述第二目标厚度之后的所述基板的至少部分孔洞中填充量子点。该方案先将具有多孔洞结构的基板的厚度减薄至目标厚度,然后再进行量子点填充和进行基板与具有多个晶粒的第二基板的键合,可以避免减薄基板的过程中,研磨、抛光时的高温条件、研磨液、抛光液等的影响导致量子点失效或性能下降,确保量子点的色转换效率。
更具体地,将具有多孔洞结构的基板的厚度减薄至第二目标厚度具体包括:提供一支撑结构,上蜡将所述基板的第一面与所述支撑结构固定;研磨、抛光所述基板的第二面,以将所述基板的厚度减薄至第二目标厚度;去除蜡,使所述基板的第一面与所述支撑结构分离。
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