[发明专利]一种X射线管烧制工艺及其烧制设备在审
申请号: | 202210774337.2 | 申请日: | 2022-07-01 |
公开(公告)号: | CN115148562A | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 刘玉强;邓廷星 | 申请(专利权)人: | 上海皑影真空技术有限公司 |
主分类号: | H01J9/00 | 分类号: | H01J9/00;H01J9/18;H01J9/26;H01J9/40;H01J35/08;H01J35/16 |
代理公司: | 安徽宏铎知识产权代理事务所(普通合伙) 34250 | 代理人: | 张孟迪 |
地址: | 200120 上海市浦东新区(上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 射线 烧制 工艺 及其 设备 | ||
本发明提供的一种X射线管烧制工艺及其烧制设备,其特征在于,所述X射线管包括玻璃芯柱、阴极与阳极杆,所述玻璃芯柱的上端面设有封口排气管,所述阴极设于玻璃芯柱的内侧,且在封口排气管的下方,所述阳极杆设于玻璃芯柱的内侧,且设于远离封口排气管的一侧,所述阳极杆的上方设有斜面,所述斜面的内部设有阳极靶面,所述阳极靶面的下方,且在阳极杆的外侧设有金属环。本发明的优点:解决了阳极端4种异种材料的连接,通过合理的工艺安排,减少了过多的清洗和抛光处理工序,解决了酸洗过程中存在的多种金属被腐蚀的问题,提高作业效率,同时阳极封装后的尺寸和表面质量得到精确控制,可满足批量化生产的需求。
技术领域
本发明涉及线管烧制领域,特别涉及一种X射线管烧制工艺及其烧制设备。
背景技术
X射线管由阴极、阳极和外部壳体组成,阴极用于发射电子,阳极提供靶面和散热作用,通过在阴极和阳极两端加载高压产生电场,用于加速电子,电子在撞击靶面后由韧致辐射机制产生X射线,外部壳体用于固定阴极和阳极,并提供良好的真空环境,便于电子能够稳定地运行。X射线管的阳极由靶和阳极杆组成,阳极与外部壳体之间通过金属环过渡连接,外部壳体通常为玻璃材料,玻璃材料有一定的耐热性能和高压绝缘性能,同时其作为壳体支撑阳极和阴极,构成封闭腔体,该腔体为超高真空环境,以便保证电子束的稳定发射。靶通常为金属钨材料,阳极杆为铜,金属环为可伐材料,膨胀系数与外部壳体玻璃材料的相当,解决上述4种材料的连接是阳极封装的关键。作为电真空零件表面,壳体内部的阳极表面光洁度要很高,以便减少表面吸气量,进一步的提高X射线管的耐压性能。通常X射线管内部的金属材料表面均需要进行酸性去除氧化层,或采用抛光工艺将氧化层去除并达到最佳表面光洁度要求,然而如酸洗多种材料时,需要考虑同种酸对不同材料的腐蚀效果,操作可控性较差。
发明内容
本发明的目的是提供一种X射线管烧制工艺及其烧制设备,该工艺解决了阳极端4种异种材料的连接,通过合理的工艺安排,减少了过多的清洗和抛光处理工序,解决了酸洗过程中存在的多种金属被腐蚀的问题,提高作业效率,同时阳极封装后的尺寸和表面质量得到精确控制,可满足批量化生产的需求。
为了达到上述发明目的,本发明采用的技术方案为:
一种X射线管包括阴极、阳极和外部壳体组成,所述阳极包括靶与阳极杆,所述外部壳体为玻璃材料,所述阳极与外部壳体之间设有金属环,其加工包括如下步骤:
(1)靶与阳极杆通过钎焊或熔铸链接为阳极组件,金属环与玻璃通过火焰加热烧熔成为一体,烧熔组件与阳极组件通过感应加热钎焊工艺连接;
(2)通过真空钎焊工艺将靶与阳极杆连接,所述真空钎焊工艺的钎焊焊料为康铜合金,所述真空钎焊工艺通过局部真空感应线圈加热,所述真空感应线圈在焊接部位进行加热,并设置加载条件为4至6A,加载时间为10至30秒;
(3)完成焊接后,去除靶面0.2至0.8mm的加工余量,并将靶面抛光至光亮,粗糙度为Ra0.4以内;
(4)通过玻璃车床将金属环、玻璃管分别装夹在两端,通过氧化性火焰先将金属环封装表面烧出黑色氧化层,将玻璃管移动至与金属环重叠,重叠宽度为1.5至3.0mm,通过氧化性火焰将玻璃烧至软化后,用石墨压板将玻璃口部压制与金属环贴合,然后切换为还原性火焰,将玻璃管与金属圈封装区域进行在线退火处理,退火处理时间为60至120s,然后取下工件,将其放在退火炉中烘烤,退火温度为500至550℃,保温时间为2至5hrs;
(5)从炉中取出工件后,使用酸性溶液取出金属环表面的氧化层,然后使用去离子水冲洗三次以上,最后使用过纯酒精溶液进行烘干处理;
(6)处理完成后使用真空感应加热方式将其与阳极杆进行钎焊连接,所述阳极杆靶面朝下,沿轴向垂直放置,金属环靠重力落在阳极杆的连接部位,所述真空感应加热方式设置加载条件为3至6A,加载时间为8至20秒,所述钎焊焊料为银铜合金,以焊丝的形式填充在连接封的端部。
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