[发明专利]一种UVW对位平台

权利要求书

1.一种UVW对位平台，其特征在于，包括：

基座(100)，所述基座(100)上罩设有真空罩(200)；

移动机构(300)，四个所述移动机构(300)呈矩形排布于所述基座(100)上，每个所述移动机构(300)的输出端均能沿X方向或沿Y方向移动；

旋转支撑组件(400)，每个所述移动机构(300)的所述输出端均与一个所述旋转支撑组件(400)的输入端连接；

工作台(500)，与所述旋转支撑组件(400)的输出端连接，所述工作台(500)能够通过所述旋转支撑组件(400)相对于所述移动机构(300)转动；

驱动机构，设置于所述真空罩(200)的外部，所述驱动机构包括第一驱动机构(600)、第二驱动机构(700)和第三驱动机构(800)，所述第一驱动机构(600)、所述第二驱动机构(700)和所述第三驱动机构(800)的输出端依次与三个所述移动机构(300)的输入端连接，且所述第一驱动机构(600)与所述第二驱动机构(700)平行设置且位于所述基座(100)的同侧，所述第一驱动机构(600)与所述第三驱动机构(800)垂直设置，所述第一驱动机构(600)包括第一驱动电机(610)、第一传动组件(620)、第一丝杠螺母组件(630)和第一传动轴(640)，所述第一驱动电机(610)的输出端与所述第一传动组件(620)的输入端连接，所述第一传动组件(620)的输出端与所述第一丝杠螺母组件(630)输入端连接，所述第一丝杠螺母组件(630)的输出端通过所述第一传动轴(640)与所述移动机构(300)的输入端连接，所述第一驱动机构(600)被配置为驱动所述工作台(500)沿X方向移动，所述第二驱动机构(700)被配置为驱动所述工作台(500)沿所述X方向移动，所述第三驱动机构(800)被配置为驱动所述工作台(500)沿所述Y方向移动。

2.根据权利要求1所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一传动组件(620)包括主动带轮、从动带轮和传动带，所述主动带轮与所述第一驱动电机(610)的输出轴同轴固定，所述从动带轮与所述第一丝杠螺母组件(630)的输入端连接，所述从动带轮通过所述传动带与所述主动带轮传动连接。

3.根据权利要求2所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一丝杠螺母组件(630)包括丝杠、螺母、滑块(631)和X轴直线导轨(632)，所述丝杠与所述从动带轮连接，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，所述滑块(631)与所述螺母固定连接且与所述X轴直线导轨(632)滑动连接，所述第一传动轴(640)一端与所述滑块(631)连接，另一端与所述移动机构(300)的输入端连接。

4.根据权利要求3所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一驱动机构(600)还包括导轨固定座(650)，所述导轨固定座(650)与所述真空罩(200)连接，所述导轨固定座(650)上开设有安装槽，所述X轴直线导轨(632)设置于所述安装槽内。

5.根据权利要求1所述的UVW对位平台，其特征在于，所述移动机构(300)包括固定板(310)、X向楔形滑轨、移动板(320)、Y向楔形滑轨和支撑板(330)，所述固定板(310)上开设有第一滑槽，所述移动板(320)上开设有第二滑槽，所述X向楔形滑轨与所述移动板(320)固定连接且与所述第一滑槽滑动连接，所述Y向楔形滑轨与所述支撑板(330)固定连接且与所述第二滑槽滑动连接。

6.根据权利要求5所述的UVW对位平台，其特征在于，所述旋转支撑组件(400)包括旋转轴，所述旋转轴一端与所述工作台(500)连接，另一端与所述支撑板(330)转动连接。

7.根据权利要求6所述的UVW对位平台，其特征在于，所述旋转支撑组件(400)还包括轴承，所述轴承的外圈与所述支撑板(330)连接，所述轴承的内圈与所述旋转轴连接。

8.根据权利要求3所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一驱动机构(600)还包括检测组件(900)，所述检测组件(900)被配置为检测所述工作台(500)的运动位置。