[发明专利]一种UVW对位平台

说明书

本发明属于对位平台技术领域，公开了一种UVW对位平台。该UVW对位平台包括基座、移动机构、旋转支撑组件、工作台、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，工作台和基座相对设置，四个移动机构呈矩形排布在基座上，每个移动机构的输出端均与一个旋转支撑组件的输入端连接，每个旋转支撑组件的输出端均与工作台连接，第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构的输出端依次与三个移动机构的输入端连接，第一驱动机构用于驱动工作台沿X方向移动，第二驱动机构用于驱动工作台沿X方向移动，第三驱动机构用于驱动工作台沿Y方向移动。驱动机构设置在真空罩的外部，保证了真空罩的密封性，降低了UVW对位平台的高度，减小了UVW对位平台的体积。

技术领域

本发明涉及对位平台技术领域，尤其涉及一种UVW对位平台。

背景技术

随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，比如UVW对位平台等，UVW对位平台通常通过对定位参照点的识别，采用亚像素级的图像对位算法计算出被测物体在XYθ方向的偏移量，并自动控制移动平台反向移动相应的移动量，纠正被测物体的位置，实现精确自动对准定位。现有的UVW对位平台结构复杂，体积大，占用空间大，驱动装置一般设置在平台的下方，在有高真空要求的使用场合，走线困难，密封性不足。

因此，亟需一种UVW对位平台来解决现有技术中的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种UVW对位平台，能够提升真空罩的密封性，降低了UVW对位平台的高度，减小了UVW对位平台的体积。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种UVW对位平台，包括：

基座，所述基座上罩设有真空罩；

移动机构，四个所述移动机构呈矩形排布于所述基座上，每个所述移动机构的输出端均能沿X方向或沿Y方向移动；

旋转支撑组件，每个所述移动机构的所述输出端均与一个所述旋转支撑组件的输入端连接；

工作台，与所述旋转支撑组件的输出端连接，所述工作台能够通过所述旋转支撑组件相对于所述移动机构转动；

驱动机构，设置于所述真空罩的外部，所述驱动机构包括第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，所述第一驱动机构、所述第二驱动机构和所述第三驱动机构的输出端依次与三个所述移动机构的输入端连接，且所述第一驱动机构与所述第二驱动机构平行设置且位于所述基座的同侧，所述第一驱动机构与所述第三驱动机构垂直设置，所述第一驱动机构包括第一驱动电机、第一传动组件、第一丝杠螺母组件和第一传动轴，所述第一驱动电机的输出端与所述第一传动组件的输入端连接，所述第一传动组件的输出端与所述第一丝杠螺母组件输入端连接，所述第一丝杠螺母组件的输出端通过所述第一传动轴与所述移动机构的输入端连接，所述第一驱动机构被配置为驱动所述工作台沿X方向移动，所述第二驱动机构被配置为驱动所述工作台沿所述X方向移动，所述第三驱动机构被配置为驱动所述工作台沿所述Y方向移动。

可选地，所述第一传动组件包括主动带轮、从动带轮和传动带，所述主动带轮与所述第一驱动电机的输出轴同轴固定，所述从动带轮与所述第一丝杠螺母组件的输入端连接，所述从动带轮通过所述传动带与所述主动带轮传动连接。

可选地，所述第一丝杠螺母组件包括丝杠、螺母、滑块和X轴直线导轨，所述丝杠与所述从动带轮连接，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，所述滑块与所述螺母固定连接且与所述X轴直线导轨滑动连接，所述第一传动轴一端与所述滑块连接，另一端与所述移动机构的输入端连接。