[发明专利]一种前后双平台曝光机在审
| 申请号： | 202210777464.8 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN115097699A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;吴德和;普丽宏 | 申请（专利权）人： | 深圳凯世光研股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 刘洋;刘国童 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区航城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 前后 平台 曝光 | ||
1.一种前后双平台曝光机，包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及用于工件曝光的曝光装置，其特征在于：所述的底座上横跨曝光台中部上方设有曝光龙门支架，所述的曝光装置设置在曝光龙门支架上，所述的曝光台的前后两侧分别设有第一供料机构和第二供料机构，第一供料机构和第二供料机构分别沿曝光台前后滑动设于底座上，所述的底座上分别设有驱动第一供料机构和第二供料机构分别沿曝光台前后滑动的第一供料机构驱动机构和第二供料机构驱动机构；所述的曝光装置前后两侧的底座上分别设有第一工件位置标定装置和第二工件位置标定装置，第一工件位置标定装置和第二工件位置标定装置均包括有横跨曝光台的标定龙门支架，以及滑动设于标定龙门支架上的标定相机，所述的标定龙门支架上设有驱动标定相机沿标定龙门支架滑动的相机驱动机构。
2.如权利要求1所述的一种前后双平台曝光机，其特征在于：所述的第一供料机构和第二供料机构均包括有前后滑动设于底座上的供料台，供料台上沿左右方向设有用于工料定位的左工料定位槽和右工料定位槽，所述的标定龙门支架上的左右两侧对应左工料定位槽和右工料定位槽分别设有一个标定相机。
3.如权利要求2所述的一种前后双平台曝光机，其特征在于：所述左工料定位槽和右工料定位槽内均设有用于将工料吸紧定位的定位吸头。
4.如权利要求1所述的一种前后双平台曝光机，其特征在于：所述的底座上沿前后方向分别设有第一滑轨和第二滑轨，所述的第一供料机构和第二供料机构滑动设于第一滑轨和第二滑轨上，所述的第一供料机构驱动机构和第二供料机构驱动机构分别为第一拖链驱动机构和第二拖链驱动机构。
5.如权利要求1所述的一种前后双平台曝光机，其特征在于：所述的标定龙门支架侧面设有第三滑轨，所述的标定相机滑动设于第三滑轨上，所述的相机驱动机构为第三拖链驱动机构。
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