[发明专利]一种晶圆检测样品台的固定方法

权利要求书

1.一种晶圆检测样品台的固定方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤a，样品放置：将样品放置在圆台（1）的中心位置，并将内环槽（7）完全覆盖，内环槽（7）对样品的中部进行吸附；

步骤b，环槽吸附：在样品能够将环槽（2）完全覆盖时，驱动盘（4）固定不动，楔块（3）顶部的堵头与环槽（2）保持分离，此时环槽（2）与真空管（5）连通，环槽（2）对样品的外侧进行吸附；

步骤c，半环槽吸附：在样品不能完全覆盖环槽（2）时，环槽（2）未被覆盖的一侧的电磁铁（6）通电，其余电磁铁（6）保持断电装置，通电的电磁铁（6）将驱动盘（4）向其所在方向拉动，驱动盘（4）的锥台的侧面将朝向通电的电磁铁（6）一侧的楔块（3）向上推动，向上滑动的楔块（3）上端的堵头将环槽（2）部分封堵，同时切断向上滑动的楔块（3）外侧的真空管（5），使经过部分封堵后的环槽（2）形成半环槽，通过半环槽对样品进行吸附；

所述的一种晶圆检测样品台的固定方法，应用在一种晶圆检测样品台上，所述的样品台包括：圆台（1）、环槽（2）、楔块（3）和驱动盘（4）；

所述的圆台（1）包括：台体（1-1）、立柱（1-2）、第一顶板（1-3）、第二顶板（1-4）、复位滑块（1-5）和复位弹簧（1-6），所述台体（1-1）的内部中间设置有立柱（1-2），该立柱（1-2）的上端设置有第一顶板（1-3），第一顶板（1-3）的外侧设置有第二顶板（1-4）；所述的复位滑块（1-5）滑动套接在立柱（1-2）上，复位滑块（1-5）与第一顶板（1-3）之间设置有复位弹簧（1-6），所述的驱动盘（4）中间设置有通孔，该通孔的直径大于立柱（1-2）的直径，且该通孔的上沿处设置有倒角，该倒角的侧面与所述复位滑块（1-5）的底部滑动接触；

所述第二顶板（1-4）的侧面设置有真空管（5），且每个所述楔块（3）的外侧均设置有一个真空管（5）；

所述楔块（3）的内侧沿纵向设置有导向条，所述第一顶板（1-3）的外侧与导向条对应设置有导向槽；

所述驱动盘（4）的外侧呈多边形结构，该多边形结构的边数与所述楔块（3）的数量对应，该多边形结构的每个边的外侧均与该边垂直设置有一个电磁铁（6）；

所述环槽（2）的内侧设置有内环槽（7）。