[发明专利]一种晶圆检测样品台

权利要求书

1.一种晶圆检测样品台，其特征在于，包括：圆台（1）、环槽（2）、楔块（3）和驱动盘（4），所述圆台（1）的内部设置有一空腔，圆台（1）的上表面设置有环槽（2），环槽（2）的底部与该空腔连通，所述环槽（2）下方的空腔内沿竖直方向滑动设置有楔块（3），楔块（3）呈圆弧状，若干个所述的楔块（3）首尾相连构成一圆环，楔块（3）的顶部设置有能够封堵环槽（2）的堵头，楔块（3）的底部设置有斜面，所述楔块（3）下方的空腔内沿水平方向滑动设置有驱动盘（4），驱动盘（4）的顶部设置有一锥台，该锥台的侧面与所述楔块（3）底部的斜面滑动接触；

所述的圆台（1）包括：台体（1-1）、立柱（1-2）、第一顶板（1-3）、第二顶板（1-4）、复位滑块（1-5）和复位弹簧（1-6），所述台体（1-1）的内部中间设置有立柱（1-2），该立柱（1-2）的上端设置有第一顶板（1-3），第一顶板（1-3）的外侧设置有第二顶板（1-4）；所述的复位滑块（1-5）滑动套接在立柱（1-2）上，复位滑块（1-5）与第一顶板（1-3）之间设置有复位弹簧（1-6），所述的驱动盘（4）中间设置有通孔，该通孔的直径大于立柱（1-2）的直径，且该通孔的上沿处设置有倒角，该倒角的侧面与所述复位滑块（1-5）的底部滑动接触。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测样品台，其特征在于，所述第二顶板（1-4）的侧面设置有真空管（5），且每个所述楔块（3）的外侧均设置有一个真空管（5）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测样品台，其特征在于，所述楔块（3）的内侧沿纵向设置有导向条，所述第一顶板（1-3）的外侧与导向条对应设置有导向槽。

4.根据权利要求1、2或3任一项所述的一种晶圆检测样品台，其特征在于，所述驱动盘（4）的外侧呈多边形结构，该多边形结构的边数与所述楔块（3）的数量对应，该多边形结构的每个边的外侧均与该边垂直设置有一个电磁铁（6）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆检测样品台，其特征在于，所述环槽（2）的内侧设置有内环槽（7）。