[发明专利]一种远程配电柜

权利要求书

1.一种远程配电柜，用于远程连接化学气象沉积设备并为化学气象沉积设备供电，所述化学气象沉积设备至少包括反应腔、传输腔、反应腔真空泵、传输腔真空泵、电脑IPC、低频匹配器以及高频匹配器，其特征在于，所述远程配电柜包括柜体、第一电源、第二电源及电气器件；

所述柜体具有依次层叠设置的第一腔体、第二腔体以及第三腔体；

所述第一腔体用于容置电气器件，所述第一电源设置于所述第二腔体，所述第二电源设置于所述第三腔体；

所述电气器件用于与所述反应腔、所述传输腔、所述反应腔真空泵、所述传输腔真空泵以及所述电脑IPC电连接；

设置于所述第二腔体中的所述第一电源用于通过射频同轴电缆与所述低频匹配器连接；

设置于所述第三腔体中的所述第二电源用于通过所述射频同轴电缆与所述高频匹配器连接。

2.根据权利要求1所述的远程配电柜，其特征在于，所述柜体包括框架以及安装于所述框架的第一侧板，所述第一侧板开设有第一开口和第二开口，所述第一开口与所述第二腔体对应，用于安装或拆卸所述第一电源，所述第二开口与所述第三腔体对应，用于安装或拆卸所述第二电源。

3.根据权利要求2所述的远程配电柜，其特征在于，所述柜体还包括第二侧板和安装板，所述第二侧板与所述第一侧板相对设置；

所述第二侧板开设有维修口，所述维修口露出所述第一电源和所述第二电源，所述安装板可拆卸地安装于所述维修口处。

4.根据权利要求3所述的远程配电柜，其特征在于，所述柜体还包括第三侧板，所述第三侧板可拆卸地安装于所述第一侧板和所述第二侧板之间。

5.根据权利要求2所述的远程配电柜，其特征在于，所述第一腔体内设置有电气安装板及多个隔板，多个所述隔板将所述柜体分隔成所述第一腔体、所述第二腔体以及所述第三腔体，所述电气安装板设置于所述第一腔体的中部并与所述第一侧板平行，所述电气安装板用于安装所述电气器件。

6.根据权利要求1所述的远程配电柜，其特征在于，所述远程配电柜还包括水冷组件，所述水冷组件设置于所述第二腔体和所述第三腔体，用于对所述第二电源进行散热。

7.根据权利要求6所述的远程配电柜，其特征在于，所述水冷组件包括进水阀、出水阀以及水冷管路，所述水冷管路依次经过所述进水阀、所述第二电源和所述出水阀。

8.根据权利要求7所述的远程配电柜，其特征在于，所述水冷组件还包括电磁截止阀和漏液检测件，所述电磁截止阀设置于所述水冷管路且位于所述进水阀和所述第二电源之间，所述漏液检测件缠绕于所述水冷管路外，所述电磁截止阀与所述漏液检测件电连接，所述漏液检测件用于在检测到漏液的情况下断开所述电磁截止阀。

9.根据权利要求8所述的远程配电柜，其特征在于，所述远程配电柜还包括控制器，所述水冷组件还包括流量计，所述流量计设置于所述水冷管路且位于所述第二电源和所述出水阀之间，所述第二电源和所述流量计均与所述控制器电连接；

所述控制器用于在所述流量计检测的流量值低于预设值的情况下使所述第二电源停止工作。