[发明专利]一种远程配电柜

说明书

本发明提供了一种远程配电柜，涉及半导体领域。远程配电柜包括柜体、第一电源及第二电源。柜体具有依次层叠设置的第一腔体、第二腔体以及第三腔体。通过将电气器件容置在第一腔体，以方便控制电气器件，通过将第一电源容置在第二腔体内，第二电源容置在第三腔体内，以提高射频电源，从而实现对PECVD腔体和真空传输平台等设备进行供电。由此可见，本发明提供的远程配电柜布局合理，空间占用小，方便维护，使用成本低。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种远程配电柜。

背景技术

在半导体领域，PECVD腔体与真空传输平台受空间制约无法摆放电源，而配电元器件及电源占用空间大，若将配电元器件及电源放置于常规的配电柜，则会出现配电柜空间利用率低等问题，也不方便对其进行维护、检修或更换等，导致使用成本增高。

发明内容

本发明提供了一种远程配电柜，其能够有效利用柜体空间，且方便检修及维护。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种远程配电柜，用于远程连接化学气象沉积设备并为化学气象沉积设备供电，所述化学气象沉积设备至少包括反应腔、传输腔、反应腔真空泵、传输腔真空泵、电脑IPC、低频匹配器以及高频匹配器，所述远程配电柜包括柜体、第一电源及第二电源及电气器件；

所述柜体具有依次层叠设置的第一腔体、第二腔体以及第三腔体；

所述第一腔体用于容置电气器件，所述第一电源设置于所述第二腔体，所述第二电源设置于所述第三腔体；

所述电气器件用于与所述反应腔、所述传输腔、所述反应腔真空泵、所述传输腔真空泵、所述电脑IPC电连接；

设置于所述第二腔体中的所述第一电源用于通过射频同轴电缆与所述低频匹配器连接；

设置于所述第三腔体中的所述第二电源用于通过所述射频同轴电缆与所述高频匹配器连接。

在可选的实施方式中，所述柜体包括框架以及安装于所述框架的第一侧板，所述第一侧板开设有第一开口和第二开口，所述第一开口与所述第二腔体对应，用于安装或拆卸所述第一电源，所述第二开口与所述第三腔体对应，用于安装或拆卸所述第二电源。

在可选的实施方式中，所述柜体还包括第二侧板和安装板，所述第二侧板与所述第一侧板相对设置；

所述第二侧板开设有维修口，所述维修口露出所述第一电源和所述第二电源，所述安装板可拆卸地安装于所述维修口处。

在可选的实施方式中，所述柜体还包括第三侧板，所述第三侧板可拆卸地安装于所述第一侧板和所述第二侧板之间。

在可选的实施方式中，所述第一腔体内设置有电气安装板及多个隔板，多个所述隔板将所述柜体分隔成所述第一腔体、所述第二腔体以及所述第三腔体，所述电气安装板设置于所述第一腔体的中部并与所述第一侧板平行，所述电气安装板用于安装所述电气器件。

在可选的实施方式中，所述远程配电柜还包括水冷组件，所述水冷组件设置于所述第二腔体和所述第三腔体，用于对所述第二电源进行散热。

在可选的实施方式中，所述水冷组件包括进水阀、出水阀以及水冷管路，所述水冷管路依次经过所述进水阀、所述第二电源和所述出水阀。

在可选的实施方式中，所述水冷组件还包括电磁截止阀和漏液检测件，所述电磁截止阀设置于所述水冷管路且位于所述进水阀和所述第二电源之间，所述漏液检测件缠绕于所述水冷管路外，所述电磁截止阀与所述漏液检测件电连接，所述漏液检测件用于在检测到漏液的情况下断开所述电磁截止阀。