[发明专利]适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构与方法有效

专利信息
申请号: 202210796930.7 申请日: 2022-07-08
公开(公告)号: CN114864525B 公开(公告)日: 2022-10-21
发明(设计)人: 李顺斌;王伟豪;张汝云;刘勤让;万智泉;沈剑良 申请(专利权)人: 之江实验室
主分类号: H01L23/485 分类号: H01L23/485;H01L23/48;H01L23/528;H01L21/768;H01L21/60
代理公司: 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人: 孙孟辉;杨小凡
地址: 311100 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 适用于 集成 晶圆基板 标准 区域 布线 结构 方法
【权利要求书】:

1.一种适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,在晶圆基板(1)上划分区域作为标准集成区域(2),标准集成区域(2)向上提供管脚,通过连接管脚构建晶上走线网络,其特征在于:每个标准集成区包括三层金属层,顶层金属层包括核心电压管脚(7)、互连信号管脚(6)和复杂功能管脚(5),中层金属层包括时钟信号管脚(10),底层金属层包括地线管脚(12);

连接所述核心电压管脚(7),构建核心电压网络(8),用于获取核心电压供电能力;

连接分布在不同标准集成区域(2)的所述互连信号管脚(6),构建互连信号网络(9),为不同标准集成区域(2)提供互连通道;

通过所述复杂功能管脚(5),将标准集成区域(2)与外接信号单独连通,用于复杂功能;

连接所述时钟信号管脚(10),构建时钟信号网络(11);

连接所述地线管脚(12),构建地线网络(13)。

2.根据权利要求1所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:所述标准集成区是在晶圆基板(1)上划分的紧密排布的正方形区域,标准集成区根据配合设置的管脚,在顶层金属层进行区域的划分,以核心电压区(15)为中心,按中心对称的原则,设置四个端角的对角互连信号区(14)、四边的平行互连信号区(16),以及位于对角互连信号区(14)与平行互连信号区(16)之间的复杂功能区(17);

所述核心电压区(15)设有核心电压管脚(7),用于获取核心电压供电能力;

所述对角互连信号区(14)设有互连信号管脚(6),为对角的标准集成区域(2)提供可配置的互连通道;

所述平行互连信号区(16)设有互连信号管脚(6),为相邻标准集成区域(2)提供高密度的高速并行互连通道;

所述复杂功能区(17)与核心电压区(15)连接,设有的复杂功能管脚(5)直接通过硅通孔(4),与外接信号单独连通。

3.根据权利要求2所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:所述核心电压网络(8)和/或地线网络(13),基于核心电压区(15),向四周呈“井字形”延展。

4.根据权利要求2所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:所述对角互连信号区(14)的互连信号管脚(6),呈L字形串接成对角互连信号网络,通过选取走线网络上的两对管脚,形成距离等长的高速差分信号对。

5.根据权利要求2所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:所述时钟信号网络(11)环绕排布于对应的所述核心电压区(15)。

6.根据权利要求1所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:所述标准集成区域(2)的尺寸小于相应集成电路工艺光罩的最大尺寸。

7.根据权利要求1所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:所述复杂功能管脚(5),除复杂管脚功能区外,在版图主体设计完毕后,错落分布于整个标准集成区。

8.根据权利要求1所述的适用于晶上集成的晶圆基板标准集成区域布线结构,其特征在于:以条纹交错方式排布所述核心电压管脚(7)和/或地线管脚(12)构成的网络。

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