[发明专利]加热装置及包括其的基板处理装置

权利要求书

1.一种加热装置，包括：

第一单元加热器，包括第一流路；

第二单元加热器，包括第二流路；以及

第一管状件，连接所述第一单元加热器和所述第二单元加热器，

其中，处理液流经所述第一流路、所述第一管状件和所述第二流路，并且通过所述第一单元加热器和所述第二单元加热器被加热，

所述第一单元加热器包括：

第一管道，沿第一方向延伸，且其内部包括沿所述第一方向形成的所述第一流路；

第一输入端子，形成在所述第一管道的表面上，并沿所述第一方向延伸；

第一输出端子，形成在所述第一管道的表面上，沿所述第一方向延伸，并与所述第一输入端子隔开；以及

彼此隔开的多个第一加热线，形成在所述第一管道的表面上，并且连接所述第一输入端子和所述第一输出端子。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其中，所述第二单元加热器包括：

第二管道，沿第二方向延伸，且其内部包括沿所述第二方向形成的所述第二流路；

第二输入端子，形成在所述第二管道的表面上，并沿所述第二方向延伸；

第二输出端子，形成在所述第二管道的表面上，沿所述第二方向延伸，并且与所述第二输入端子隔开；以及

彼此隔开的多个第二加热线，形成在所述第二管道的表面上，并且连接所述第二输入端子和所述第二输出端子。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其中，

所述第一单元加热器和所述第二单元加热器彼此并排布置，并且所述多个第一加热线和所述多个第二加热线彼此面对。

4.根据权利要求3所述的加热装置，其中，

所述第一管状件具有U形形状，以连接所述第一管道的出口和所述第二管道的入口。

5.根据权利要求2所述的加热装置，其中，

向所述第一输入端子供应的电力的输出大小和向所述第二输入端子供应的电力的输出大小彼此不同。

6.根据权利要求2所述的加热装置，其中，

所述第一单元加热器还包括温度传感器，所述温度传感器附接到所述第一管道的表面并与所述多个第一加热线隔开，以及

根据设置于所述第一单元加热器的所述温度传感器的感测结果来控制向所述第一输入端子和所述第二输入端子供应的电力的输出大小。

7.根据权利要求1所述的加热装置，还包括：

第三单元加热器，包括第三流路；以及

第二管状件，连接所述第二单元加热器和所述第三单元加热器，

其中，所述处理液流经所述第一流路、所述第一管状件、所述第二流路、所述第二管状件和所述第三流路，并且通过所述第一单元加热器、所述第二单元加热器和所述第三单元加热器被加热，

所述第一单元加热器至所述第三单元加热器彼此并排布置，并且所述第一单元加热器至所述第三单元加热器围绕假想圆布置。

8.根据权利要求1所述的加热装置，还包括：

温度传感器，附接在所述第一管道的表面上，并与所述多个第一加热线隔开。

9.根据权利要求8所述的加热装置，其中，所述温度传感器包括热电偶。

10.根据权利要求1所述的加热装置，其中，在所述第一管道的一侧设置有第一连接配件，在所述第一管道的另一侧设置有第二连接配件。

11.根据权利要求1所述的加热装置，其中，所述处理液为异丙醇，所述第一管道为石英管道。