[发明专利]加热装置及包括其的基板处理装置

说明书

本申请提供一种能够稳定且有效地加热处理液的加热装置。加热装置包括：第一单元加热器，包括第一流路；第二单元加热器，包括第二流路；以及第一管状件，连接第一单元加热器和第二单元加热器，其中，处理液流经第一流路、第一管状件和第二流路，并且通过第一单元加热器和第二单元加热器被加热，第一单元加热器包括：第一管道，沿第一方向延伸并且其内部包括沿第一方向形成的第一流路；第一输入端子，形成在第一管道的表面上且沿第一方向延伸；第一输出端子，形成在第一管道的表面上，沿第一方向延伸，并且与第一输入端子隔开；以及彼此隔开的多个第一加热线，形成在第一管道的表面上，并且连接第一输入端子和第一输出端子。

技术领域

本发明涉及一种加热装置及包括该加热装置的基板处理装置。

背景技术

利用加热装置，将处理液升温至目标温度，并将所述处理液供应给基板。传统的加热装置包括用于储存处理液的水槽和与处理液接触并加热处理液的热源。

发明内容

解决的技术问题

一方面，以往的热源由发热体、传递发热体的热量的主体(金属材料)、围绕主体并与处理液接触的盖子(例如，氟树脂材料)等构成。

由于发热体产生的热通过主体和盖子传递到处理液，因此热传递步骤多，加热效率降低。此外，发热体所产生的高温的热会传递到塑料材料的盖子，从而可能导致盖子的损坏。处理液通过损坏的盖子流入到内部，从而可能导致加热装置发生故障。

或者，由氟树脂构成的盖子具有吸收(absorption)、渗透(permeation)性质，因此允许从发热体进行微粒迁移(particulate migration)。因此，发热体的金属粒子可能会污染处理液。

不仅如此，处理液在盛放于水槽的状态下被热源加热，而经过加热的处理液被传递到水槽的外部。但是，根据水槽的内部空间的设计，一部分处理液无法被传递到水槽的外部，而会持续残留。即，部分处理液可以在水槽内停滞或轮转。如此停滞的处理液可被热源过度加热。

本发明要解决的技术问题在于提供一种能够稳定且有效地加热处理液的加热装置。

本发明要解决的另一技术问题在于提供一种包括所述加热装置的基板处理装置。

本发明的目的不限于上述目的，本领域的技术人员通过下面的描述可以清楚地理解未提及的其他目的。

解决方法

为解决上述技术问题，根据本发明的一方面的加热装置包括：第一单元加热器，其包括第一流路；第二单元加热器，其包括第二流路；以及第一管状件，其连接第一单元加热器和第二单元加热器，其中，处理液流经第一流路、第一管状件和第二流路，并且通过第一单元加热器和第二单元加热器被加热，第一单元加热器包括：第一管道，其沿第一方向延伸且其内部包括沿第一方向形成的第一流路；第一输入端子，其形成在第一管道的表面上且沿第一方向延伸；第一输出端子，其形成在第一管道的表面上，沿第一方向延伸，并且与第一输入端子隔开；以及彼此隔开的多个第一加热线，其形成在第一管道的表面上且连接第一输入端子和第一输出端子。

为解决上述技术问题，根据本发明的另一方面的加热装置包括：管道，其内部形成有供处理液流动的流路，并且沿一个方向延伸；输入端子，形成在管道的表面上，并且沿一个方向延伸；输出端子，形成在管道的表面上，沿一个方向延伸，并且与输入端子隔开；以及彼此隔开的多个加热线，形成在管道的表面上并连接输入端子和输出端子。