[发明专利]一种半导体元器件制备装置

权利要求书

1.一种半导体元器件制备装置，其特征在于，包括水平布置的支撑圆盘（100），支撑圆盘（100）上装有转盘（110），转盘（110）和支撑圆盘（100）贴合，且二者中心线共线，转盘（110）上装有夹持机构（200），夹持机构（200）沿着转盘（110）的径向布置，转盘（110）旁侧设置有加工机构，加工机构与夹持机构（200）对应布置，转盘（110）用于带动夹持机构（200）进出加工机构，转盘（110）上装有调节机构（300），调节机构（300）用于与夹持机构（200）配合，调节夹持机构（300）的姿态。

2.根据权利要求1所述的一种半导体元器件制备装置，其特征在于，夹持机构布置有五组，五组夹持机构围绕转盘（110）的中心线呈圆周阵列分布，加工机构包括上料组件（120）、A溶胶组件（130）、B溶胶组件（140）、弯折组件（150）和焊接组件（160），各组件围绕转盘（110）的中心线呈圆周阵列分布，各组件与各夹持机构（200）对应布置。

3.根据权利要求2所述的一种半导体元器件制备装置，其特征在于，夹持机构（200）包括转动块（240）和支撑管（210），转动块（240）两端通过铰接轴（241）转动安装在转盘（110）上，铰接轴（241）水平布置，支撑管（210）沿着转盘（110）的径向布置，铰接轴（241）的轴向与支撑管（210）呈垂直状分布，支撑管（210）穿插在转动块（240）内，支撑管（210）能够沿着其管长方向在转动块（240）内滑动，以及能够围绕其管长方向在转动块（240）内转动，支撑管（210）一端伸出转盘（110），另一端指向转盘（110）圆心，支撑管（210）的伸出端装有夹持组件（220），夹持组件（200）用于夹持或松开元件，支撑管（210）的另一端装有触发组件（230），触发组件（230）和调节机构（300）匹配。

4.根据权利要求3所述的一种半导体元器件制备装置，其特征在于，夹持组件（220）包括滑杆（222），滑杆（222）的杆长方向和铰接轴（241）的轴向一致，滑杆（222）两端固定安装在支撑臂（224）上，滑杆（222）上装有两夹爪（221），两夹爪（221）和对应的支撑臂（224）之间布置有弹簧（223），弹簧（223）用于对夹爪（221）施加远离对应支撑臂（224）的弹性力，两夹爪（221）连接被动组件，被动组件用于调节两夹爪（221）相互分离。

5.根据权利要求4所述的一种半导体元器件制备装置，其特征在于，被动组件包括两被动块（225）和配合块（229），两被动块（225）分别和两夹爪（221）对应布置且固定连接，两被动块（225）相互靠近的侧面为斜面，配合块（229）和两斜面对应分布，配合块（229）连接第一传动组件，第一传动组件用于驱使配合块（229）沿着支撑管（210）的长度方向移动，配合块（229）朝着远离支撑管（210）的方向移动时，与两被动块（225）的斜面抵靠配合，驱使两被动块（225）相互远离。

6.根据权利要求5所述的一种半导体元器件制备装置，其特征在于，第一传动组件包括传动杆（235）、抵靠杆（260）和限位弹簧（236），传动杆（235）布置在支撑管（210）内，传动杆（235）沿着其杆长方向与支撑管（210）构成滑动导向配合，传动杆（235）一端与配合块（229）固定连接，限位弹簧（236）套接在传动杆（235）上，限位弹簧（236）用于维持配合块（229）处于脱离被动块（225）的状态，传动杆（235）另一端连接抵靠杆（260），抵靠杆（260）和传动杆（235）呈垂直状分布，抵靠杆（260）伸出支撑管（210），支撑管（210）对应抵靠杆（260）的部位开设有供其移动的空缺部。

7.根据权利要求6所述的一种半导体元器件制备装置，其特征在于，调节机构包括拨动组件（340），拨动组件（340）布置在支撑管（210）的上方，拨动组件（340）设置有两组，两组拨动组件分别与上料组件（120）和焊接组件（160）对应布置，拨动组件（340）用于和抵靠杆（260）配合，驱使抵靠杆（260）向靠近被动块（225）方向移动。