[发明专利]搬运机械手

权利要求书

1.一种搬运机械手，其特征在于，包括：

基座，固设有气缸及同步带组件，所述同步带组件包括同步带及一对同步带轮，所述同步带套设于所述同步带轮上，并具有平行相对的的第一/第二带部，所述气缸的活塞杆固连所述第一带部；

末端执行器，一端固连所述第二带部，另一端设有末端限位件；

前端凹形推杆，一端固连所述第一带部，另一端设有凹槽；其中，

晶圆置于所述末端执行器上，且位于所述凹槽及所述末端限位件之间，所述气缸驱动所述活塞杆伸缩以传动所述第一/第二带部相向/背运动、所述前端凹形推杆及末端执行器相向/背运动、及所述凹槽及所述末端限位件以夹持或释放所述晶圆。

2.如权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述前端凹形推杆沿所述晶圆的径向设置。

3.如权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述凹槽的上侧壁平齐于所述晶圆的顶面，下侧壁相对于所述晶圆的底面成预设角度。

4.如权利要求3所述的搬运机械手，其特征在于，所述预设角度为锐角。

5.如权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述末端执行器具有末端分叉部，所述末端分叉部相对于所述前端凹形推杆对称设置，且分叉的两个限位端部对应设有所述末端限位件。

6.如权利要求5所述的搬运机械手，其特征在于，所述末端限位件包括滚轮，所述滚轮水平旋转地设置于所述限位端部。

7.如权利要求5所述的搬运机械手，其特征在于，所述末端执行器还具有前端分叉部，所述前端分叉部相对于所述前端凹形推杆对称设置，且分叉的两个连接端部之一固连所述第二带部。

8.如权利要求7所述的搬运机械手，其特征在于，还包括：滑槽及滑块，所述滑槽对应所述连接端部并固连所述基座，所述滑块固连所述连接端部并滑设于所述滑槽内。

9.如权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，还包括：光学传感器及遮光板，所述光学传感器固连所述基座，所述遮光板固连所述气缸推杆。

10.如权利要求9所述的搬运机械手，其特征在于，所述光学传感器包括反射传感器和/或对射传感器。