[发明专利]搬运机械手

说明书

本发明提供一种搬运机械手，晶圆置于末端执行器上，且位于凹槽及末端限位件之间，气缸驱动活塞杆伸缩以传动第一/第二带部相向/背运动、前端凹形推杆及末端执行器相向/背运动、及所述凹槽及所述末端限位件以夹持或释放所述晶圆.本发明利用同步带两侧成相反运动，可解决传统夹持式推杆过长且速度过高时的掉片问题，而且，采用同步带系统实现前端凹形推杆和末端执行器的同时同向运动以夹持晶圆，及同时反向运动以释放晶圆，实现高速运输晶圆的同时，对晶圆具有自动定心作用。末端执行器设置末端限位件，夹持过程中，避免晶圆发生摩擦，从而进一步提高晶圆的合格率。

技术领域

本发明涉及机械手技术领域，更具体地，涉及一种搬运机械手。

背景技术

在集成电路、芯片制造等半导体行业中，大量使用机械手运送传输硅片晶圆。硅片传输机械手是半导体工艺链中硅片传输和定位的核心设备，直接影响工艺质量和生产效率。

传统的机械手采用夹持式以固定晶圆，通常采用气缸单侧运动，设置挡块以夹紧晶圆，然而，在机械手高速运转时，容易导致掉片，且晶圆的末端易产生摩擦，降低成品的合格率。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种搬运机械手。

为实现上述目的，本发明提供一种搬运机械手，包括：基座，固设有气缸及同步带组件，所述同步带组件包括同步带及一对同步带轮，所述同步带套设于所述同步带轮上，并具有平行相对的的第一/第二带部，所述气缸的活塞杆固连所述第一带部；末端执行器，一端固连所述第二带部，另一端设有末端限位件；前端凹形推杆，一端固连所述第一带部，另一端设有凹槽；其中，晶圆置于所述末端执行器上，且位于所述凹槽及所述末端限位件之间，所述气缸驱动所述活塞杆伸缩以传动所述第一/第二带部相向/背运动、所述前端凹形推杆及末端执行器相向/背运动、及所述凹槽及所述末端限位件以夹持或释放所述晶圆。

优选地，所述前端凹形推杆沿所述晶圆的径向设置。

优选地，所述凹槽的上侧壁平齐于所述晶圆的顶面，下侧壁相对于所述晶圆的底面成预设角度。

优选地，所述预设角度为锐角。

优选地，所述末端执行器具有末端分叉部，所述末端分叉部相对于所述前端凹形推杆对称设置，且分叉的两个限位端部对应设有所述末端限位件。

优选地，所述末端限位件包括滚轮，所述滚轮水平旋转地设置于所述限位端部。

优选地，所述末端执行器还具有前端分叉部，所述前端分叉部相对于所述前端凹形推杆对称设置，且分叉的两个连接端部之一固连所述第二带部。

优选地，还包括：滑槽及滑块，所述滑槽对应所述连接端部并固连所述基座，所述滑块固连所述连接端部并滑设于所述滑槽内。

优选地，还包括：光学传感器及遮光板，所述光学传感器固连所述基座，所述遮光板固连所述气缸推杆。

优选地，所述光学传感器包括反射传感器和/或对射传感器。

本发明利用同步带两侧成相反运动，可解决传统夹持式推杆过长且速度过高时的掉片问题，而且，采用同步带系统实现前端凹形推杆和末端执行器的同时同向运动以夹持晶圆，及同时反向运动以释放晶圆，实现高速运输晶圆的同时，对晶圆具有自动定心作用。末端执行器设置末端限位件，夹持过程中，避免晶圆发生摩擦，从而进一步提高晶圆的合格率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

附图1为本发明实施例的搬运机械手的结构示意图；