[发明专利]拆卸机构

权利要求书

1.一种拆卸机构，用于拆卸半导体腔室的密封盖，所述半导体腔室包括腔体，所述密封盖密封盖合在腔体的开口处，其特征在于，包括：

升降结构，设置在所述半导体腔室的侧旁；

工装滑台结构，设置在所述升降结构上，所述升降结构适于驱动所述工装滑台结构沿所述升降结构的延伸方向朝靠近或远离所述半导体腔室的方向运动；

吊臂结构，所述吊臂结构的第一端与所述工装滑台结构活动连接，所述吊臂结构的第二端处于自由状态；

吸盘结构，设置在所述吊臂结构上并适于沿所述吊臂结构的长度方向进行往复运动，所述吸盘结构适于吸合所述密封盖，通过所述升降结构驱动所述工装滑台结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，带动所述吊臂结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，从而使得所述吸盘结构与所述密封盖之间的吸力大于所述密封盖与所述腔体之间的吸力。

2.根据权利要求1所述的拆卸机构，其特征在于，所述升降结构包括升降结构本体、设置在所述升降结构本体内的转动导向部件以及设置在所述转动导向部件上的滑块，所述工装滑台结构设置在所述滑块上。

3.根据权利要求2所述的拆卸机构，其特征在于，所述工装滑台包括设置在所述滑块上的滑台外壳以及设置在所述滑台外壳内的滑动杆，所述滑动杆的两端均伸出到所述滑台外壳的外部，在所述滑动杆上设有轴向弹性伸缩部件，其中，所述轴向弹性伸缩部件的第一端与所述滑台外壳的下端相抵接，所述轴向弹性伸缩部件的第二端与设置在所述滑动杆上的限位挡块相抵接；

所述吊臂结构的第一端与所述滑台外壳的上下两端活动连接。

4.根据权利要求3所述的拆卸机构，其特征在于，在所述滑动杆伸出到所述滑台外壳的下端的端部设有安装部和设置在所述安装部上的把手，其中，下拉所述把手，所述轴向弹性伸缩部件处于被压缩的状态，所述滑动杆的上端缩回所述滑台外壳；松开所述把手，所述滑动杆的上端在所述轴向弹性伸缩部件的弹性力的作用下，再次滑出到所述滑台外壳的上端。

5.根据权利要求4所述的拆卸机构，其特征在于，所述吊臂结构包括吊臂本体和设置在所述吊臂本体上的横梁，所述吊臂本体的第一端与所述滑台外壳活动连接。

6.根据权利要求5所述的拆卸机构，其特征在于，在所述安装部上构造有腰型孔，在所述吊臂本体的第一端构造有开口朝向外侧的凹口，在所述凹口的上端构造有轴向通孔，在所述凹口的下端构造有径向通孔，其中，所述轴向通孔适于与所述滑动杆的上端相适配，所述径向通孔适于与所述腰型孔通过销轴相连接。

7.根据权利要求5所述的拆卸机构，其特征在于，所述横梁包括与所述吊臂本体相连接的横梁本体，在所述横梁本体内沿其延伸方向构造有凹腔，在所述凹腔内设有滑轨，在所述滑轨上设有滑动块，所述滑动块适于沿所述滑轨的延伸方向进行往复滑动；

在所述凹腔的延伸方向的侧壁上呈间隔式构造有多个定位孔。

8.根据权利要求7所述的拆卸机构，其特征在于，所述拆卸机构还包括设置在所述滑动块的内部的配合结构，所述配合结构与所述滑动块的延伸方向相垂直；

所述拆卸机构还包括定位结构，所述定位结构设置在所述配合结构内并适于与对应的所述定位孔相适配。

9.根据权利要求8所述的拆卸机构，其特征在于，所述配合结构包括设置在所述滑动块的内部的阶梯孔，所述阶梯孔与所述滑轨在同一平面内相垂直，所述阶梯孔包括依次连通的第一通孔、第二通孔以及第三通孔，其中，所述第一通孔和所述第三通孔的孔径均大于所述第二通孔的孔径，在所述滑动块的侧端面且对应所述阶梯孔的部位构造有挡块，在所述挡块上构造有缺口。