[发明专利]拆卸机构

说明书

本发明提供一种拆卸机构，用于拆卸半导体腔室的密封盖，包括腔体，密封盖密封盖合在腔体的开口处，包括升降结构和工装滑台结构，升降结构适于驱动工装滑台结构沿升降结构的延伸方向朝靠近或远离半导体腔室的方向运动；吊臂结构的第一端与工装滑台结构活动连接，吊臂结构的第二端处于自由状态；吸盘结构设置在吊臂结构上并适于沿吊臂结构的长度方向进行往复运动，吸盘结构适于吸合密封盖，通过升降结构驱动工装滑台结构朝远离半导体腔室的方向进行运动，带动吊臂结构朝远离半导体腔室的方向进行运动，从而使得吸盘结构与密封盖之间的吸力大于密封盖与腔体之间的吸力。该拆卸机构具有稳定性好、通用性强以及不占用密闭腔室上方空间的优点。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种拆卸机构。

背景技术

目前，随着半导体制造技术的不断创新，石英凭借其独特的透光耐热性已成为半导体设备中工艺腔室的首选材料。为满足负压的工艺条件，石英材质的顶盖多半采用弧形外凸设计增加强度。但是此种设计维护时石英上盖会紧紧吸附在密闭腔上，因缺少有效的受力点，无法采用敲击，翘边等的方式拆卸上盖。

如图1所示，针对弧形石英上盖10，现有技术采用的方式为：通过升降螺钉20的上升完成弧形石英上盖10与密闭腔30分离。该装置主要由吸盘40、横梁50、支撑板60以及升降螺钉20构成。其中，横梁50、支撑板60与升降螺钉20构成具有单侧升降功能的小型龙门架，吸盘40通过螺钉固定在横梁50上，支撑板60放置在密闭腔30的上表面的水平面上，龙门架的升降螺钉20与密闭腔30上表面的螺纹孔配合实现横梁50上的吸盘40的上下移动，拧紧螺钉，按压吸盘40以吸附弧形石英上盖10，拧松螺钉，吸盘40与弧形石英上盖10一同向上移动，完成弧形石英上盖10与密闭腔30的分离。

然而，上述装置需要保证与弧形石英上盖10形成的密闭腔30的上表面有足够的放置空间，且需要在密闭腔的上表面构造与升降螺钉20配合的螺纹孔。升降螺钉20控制吸盘40的上升和下降，弧形石英上盖10与密闭腔30的吸附力太大时，工作人员转动升降螺钉20上的旋钮困难，装置容易产生倾倒。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种拆卸机构。

为实现本发明的目的而提供一种拆卸机构，用于拆卸半导体腔室的密封盖，所述半导体腔室包括腔体，所述密封盖密封盖合在腔体的开口处，包括：升降结构，设置在所述半导体腔室的侧旁；工装滑台结构，设置在所述升降结构上，所述升降结构适于驱动所述工装滑台结构沿所述升降结构的延伸方向朝靠近或远离所述半导体腔室的方向运动；吊臂结构，所述吊臂结构的第一端与所述工装滑台结构活动连接，所述吊臂结构的第二端处于自由状态；吸盘结构，设置在所述吊臂结构上并适于沿所述吊臂结构的长度方向进行往复运动，所述吸盘结构适于吸合所述密封盖，通过所述升降结构驱动所述工装滑台结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，带动所述吊臂结构朝远离所述半导体腔室的方向进行运动，从而使得所述吸盘结构与所述密封盖之间的吸力大于所述密封盖与所述腔体之间的吸力。

其中，所述升降结构包括升降结构本体、设置在所述升降结构本体内的转动导向部件以及设置在所述转动导向部件上的滑块，所述工装滑台结构设置在所述滑块上。

其中，所述工装滑台包括设置在所述滑块上的滑台外壳以及设置在所述滑台外壳内的滑动杆，所述滑动杆的两端均伸出到所述滑台外壳的外部，在所述滑动杆上设有轴向弹性伸缩部件，其中，所述轴向弹性伸缩部件的第一端与所述滑台外壳的下端相抵接，所述轴向弹性伸缩部件的第二端与设置在所述滑动杆上的限位挡块相抵接；所述吊臂结构的第一端与所述滑台外壳的上下两端活动连接。

其中，在所述滑动杆伸出到所述滑台外壳的下端的端部设有安装部和设置在所述安装部上的把手，其中，下拉所述把手，所述轴向弹性伸缩部件处于被压缩的状态，所述滑动杆的上端缩回所述滑台外壳；松开所述把手，所述滑动杆的上端在所述轴向弹性伸缩部件的弹性力的作用下，再次滑出到所述滑台外壳的上端。