[发明专利]光源装置、曝光装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种光源装置，其特征在于，具有排列有多个LED的LED模块和通过液冷对所述LED模块进行冷却的冷却器，所述LED模块的发光量可变，

在所述发光量为第1发光量的情况下流过大于预定的电流值的电流而发光的LED的数量比在所述发光量为大于所述第1发光量的第2发光量的情况下流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED的数量少。

2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，

在所述第2发光量的情况下，在所述多个LED的所有LED中流过大于所述预定的电流值的电流。

3.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，

所述预定的电流值是在以所述第2发光量使LED模块发光的情况下在发光的多个LED中流过的电流值的平均值的一半的值。

4.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，

还具有控制在所述多个LED中流过的电流的电流控制部，

所述电流控制部根据所述发光量的大小，决定流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED的数量相对于所述多个LED的所有LED的数量的比例。

5.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

所述电流控制部决定流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED。

6.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

所述电流控制部以使由于从所述第2发光量变更为所述第1发光量而引起的从所述LED模块射出的光的峰值波长的变化降低的方式，控制在所述多个LED中流过的电流。

7.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

在从所述第2发光量变更为所述第1发光量时，所述电流控制部以使与所述多个LED中的在所述第1发光量的情况下流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED的所述发光量的变更相伴的平均温度的变化降低的方式，控制在流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED中流过的电流。

8.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

所述电流控制部从所述多个LED中的累计点亮时间短的LED起优先地决定流过大于所述预定的电流值的电流的LED。

9.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

在所述第1发光量的情况下，所述电流控制部以使所述多个LED中的流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED的重心位置与使所述多个LED的所有LED以相同的亮度发光时的所述多个LED的重心位置一致的方式，决定所述多个LED中的流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED。

10.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

在所述第1发光量的情况下，所述电流控制部使在所述多个LED中的流过大于所述预定的电流值的电流而发光的LED以外的LED中不流过电流。

11.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，

所述LED模块具备多个排列有多个LED的芯片列，

所述电流控制部针对多个所述芯片列中的每个芯片列进行电流控制。

12.根据权利要求11所述的光源装置，其特征在于，

在多个所述芯片列中的每个芯片列中多个LED排列的方向是包括与所述制冷剂在所述冷却器的内部流动的方向平行的分量的方向。

13.根据权利要求12所述的光源装置，其特征在于，

在所述芯片列中所述多个LED排列的方向是相对于所述冷却器的所述制冷剂流动的方向为45度以内的角度的方向。