[发明专利]排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体

权利要求书

1.一种排程表制作方法，用来使用机械学习，制作与衬底的处理工序相关的衬底处理装置的各构成要素的时间安排表，

该排程表制作方法执行多次学习步骤来制作所述时间安排表，

在所述学习步骤中，向用来规定所述衬底处理装置的所述各构成要素的时间安排表的时间表中，依次配置逐个工序地表示所述处理工序的各模式，在预先准备的所有所述模式都已配置在所述时间表中后，取得评价值，

向所述时间表中依次配置所述模式时，

基于既定的制约条件，从所述模式中，取得能配置到所述时间表中的1个以上可配置模式，

通过所述机械学习，从所述可配置模式中，预测所述评价值最大化的模式并进行选择，

通过将所选择的所述模式配置到所述时间表中，而更新所述时间表，

获取所述评价值时，

基于配置有所有所述模式的所述时间表，取得最终报酬，

基于包含所述最终报酬的报酬，算出所述评价值。

2.根据权利要求1所述的排程表制作方法，其中

所述制约条件包含按照所述处理工序的顺序，从所述模式中取得后续可配置的模式的条件。

3.根据权利要求1或2所述的排程表制作方法，其中

所述制约条件包含禁止执行所述衬底处理装置无法物理执行的动作的条件。

4.根据权利要求1或2所述的排程表制作方法，其中

所述衬底处理装置的所述构成要素包含处理衬底的多个处理部，

所述最终报酬包含为正的报酬的特定的最终报酬，

该排程表制作方法在获取所述最终报酬时，

特定出所述多个处理部中最后处理衬底的处理部即最终处理部，

从由所述时间表所表示的时刻中，取得所述最终处理部最后处理衬底的时刻，

基于所取得的所述时刻，取得所述特定的最终报酬。

5.根据权利要求1或2所述的排程表制作方法，其中

所述衬底处理装置的所述构成要素包含处理衬底的多个处理部，

所述最终报酬包含为正的报酬的特定的最终报酬，

该排程表制作方法在获取所述最终报酬时，

从由所述时间表所表示的时刻中，取得所述多个处理部各自最初处理衬底的第1时刻、及所述多个处理部各自最后处理衬底的第2时刻，

取得所述多个处理部各自的从所述第1时刻到所述第2时刻的经过时间，

基于所述经过时间的分散，取得所述特定的最终报酬。

6.根据权利要求1或2所述的排程表制作方法，其中

所述报酬还包含中间报酬，

该排程表制作方法在将所选择的所述模式配置到所述时间表中，而更新所述时间表后，

对所述时间表更新时配置的所述模式是否符合既定的中间报酬赋予条件进行判定，

在判定为符合所述中间报酬赋予条件的情况下，取得所述中间报酬。

7.根据权利要求6所述的排程表制作方法，其中

计算所述评价值时，

从由所述时间表所表示的时刻中，取得与符合所述中间报酬赋予条件的所述模式的位置对应的时刻，

基于所取得的所述时刻，决定是否对所述中间报酬分配折扣率，

在决定对所述中间报酬分配折扣率的情况下，根据所取得的所述时刻，算出所述折扣率的值。

8.根据权利要求6所述的排程表制作方法，其中

所述衬底处理装置的所述构成要素包含能同时搬送多片衬底的搬送机器人，

所述中间报酬包含为正的报酬的特定的中间报酬，

所述中间报酬赋予条件包含与所述特定的中间报酬对应的特定的中间报酬赋予条件，

所述特定的中间报酬赋予条件表示所述搬送机器人同时搬送彼此不同的衬底。