[发明专利]排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体

说明书

本发明提供一种排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体。排程表制作方法是执行多次学习步骤来制作时间安排表的方法。学习步骤包含向用来规定衬底处理装置(WP)的各构成要素的时间安排表的时间表(TB)中，依次配置逐个工序地表示处理工序的各模式(PT)的步骤。向时间表(TB)中依次配置模式(PT)的步骤包含：基于既定的制约条件，从模式(PT)中，取得能配置到时间表(TB)中的1个以上可配置模式(APT)的步骤(步骤S111)；通过机械学习，从可配置模式(APT)中，预测评价值最大化的模式(PT)并进行选择的步骤(步骤S112)；及通过将所选择的模式(PT)配置到时间表(TB)中，而更新时间表(TB)的步骤(步骤S113)。

技术领域

本发明涉及一种排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体。

背景技术

已知有衬底处理装置的排程表制作方法(例如，参照专利文献1)。衬底处理装置的排程表制作方法是制作衬底处理装置的各构成要素的时间安排表的方法。根据衬底处理装置的排程表制作方法，能以衬底处理装置可按衬底单位(以1片为单位)或批次单位(例如，以25片为单位)有效率地处理衬底的方式，制作出时间安排表。专利文献1的排程表制作方法适用于批量式的衬底处理装置。

衬底处理装置的排程表制作方法是通过包含CPU(Central Processing Unit，中央处理器)及计数/计时器等的控制部执行计算机程序而实施的。因此，排程表制作方法的开发者要开发CPU所执行的处理的流程。具体来说，开发者要考虑衬底处理装置的装置构成来决定规则(制约)，以能制作出反映所定规则的时间安排表的方式开发流程。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2009-48320号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

然而，在考虑衬底处理装置的装置构成来决定规则(制约)，以能制作出反映所定规则的时间安排表的方式开发流程的情况下，由于每种机型的装置构成不同，所以开发者需要为每种机型逐一开发全部流程。因此，考虑到开发者的负担，还有进一步改良的余地。

本发明就是鉴于所述问题而提出的，其目的在于提供一种能减轻开发者的负担的排程表制作方法、排程表制作装置、衬底处理装置、衬底处理系统及记录媒体。

[解决问题的技术手段]

根据本发明的一技术方案，排程表制作方法是用来使用机械学习，制作与衬底的处理工序相关的衬底处理装置的各构成要素的时间安排表的方法。该方法包含执行多次学习步骤来制作所述时间安排表的步骤。所述学习步骤包含如下步骤：向用来规定所述衬底处理装置的所述各构成要素的时间安排表的时间表中，依次配置逐个工序地表示所述处理工序的各模式；及在预先准备的所有所述模式都已配置在所述时间表中后，取得评价值。向所述时间表中依次配置所述模式的步骤包含如下步骤：基于既定的制约条件，从所述模式中，取得能配置到所述时间表中的1个以上可配置模式；通过所述机械学习，从所述可配置模式中，预测所述评价值最大化的模式并进行选择；及通过将所选择的所述模式配置到所述时间表中，而更新所述时间表。获取所述评价值的步骤包含如下步骤：基于配置有所有所述模式的所述时间表，取得最终报酬；及基于包含所述最终报酬的报酬，算出所述评价值。

在某实施方式中，所述制约条件包含按照所述处理工序的顺序，从所述模式中取得后续可配置的模式的条件。

在某实施方式中，所述制约条件包含禁止执行所述衬底处理装置无法物理执行的动作的条件。