[发明专利]一种工装及物理气相沉积设备

权利要求书

1.一种工装，其特征在于，包括：

工装单元(1)，包括拨轮(11)和传动机构，所述拨轮(11)上设有多个安装件，所述传动机构与所述拨轮(11)转动连接，所述传动机构用于带动所述安装件自转；

底盘(2)，所述底盘(2)上设有多个所述工装单元(1)，所述拨轮(11)与所述底盘(2)转动连接。

2.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，所述传动机构包括磁性件(13)，所述磁性件(13)设于所述拨轮(11)的中心处，

所述安装件以所述拨轮(11)的中轴线为中心周向均匀的分布在所述磁性件(13)的外侧，所述安装件与所述磁性件(13)相邻的部分能够被所述磁性件(13)吸引。

3.根据权利要求2所述的工装，其特征在于，所述拨轮(11)的上表面设有第二通孔(111)和第二安装孔(112)，所述第二通孔(111)设于所述拨轮(11)的中心处，所述第二安装孔(112)以所述拨轮(11)的中轴线为中心周向均匀的分布，所述安装件的下端伸入所述第二安装孔(112)内。

4.根据权利要求3所述的工装，其特征在于，所述工装单元(1)还包括：

轴座(15)，所述轴座(15)的下端与所述底盘(2)连接，所述轴座(15)的上端与所述第二通孔(111)转动连接，所述轴座(15)的上端设有用于安装所述磁性件(13)的第三安装孔(1511)。

5.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，所述拨轮(11)的外周面均匀分布多个轮齿。

6.根据权利要求3所述的工装，其特征在于，所述第二安装孔(112)和所述第二通孔(111)连通。

7.根据权利要求2-6任一项所述的工装，其特征在于，所述安装件包括多个装配芯杆(14)和套管(12)，所述套管(12)设于所述装配芯杆(14)的上方，所述装配芯杆(14)与所述套管(12)一一对应连接，所述装配芯杆(14)下端与所述拨轮(11)转动连接。

8.根据权利要求7所述的工装，其特征在于，所述装配芯杆(14)包括由上至下依次连接的第一顶部(141)、第一中部(142)和第一底部(143)，所述第一中部(142)的直径大于所述第一顶部(141)和第一底部(143)的直径，所述第一顶部(141)与所述套管(12)的下端连接，所述第一中部(142)的上表面与所述套管(12)的下端面抵接，所述第一底部(143)与所述拨轮(11)转动连接，所述第一中部(142)的下表面与所述拨轮(11)的上表面抵接。

9.根据权利要求7所述的工装，其特征在于，所述工装单元(1)还包括：

支撑盘(16)，设于所述拨轮(11)的上方，所述支撑盘(16)上设有供所述套管(12)的上端穿出的第一通孔(161)；

支撑杆(17)，所述支撑杆(17)的上端与所述支撑盘(16)连接，所述支撑杆(17)的下端与所述拨轮(11)连接。

10.根据权利要求2-6任一项所述的工装，其特征在于，所述安装件包括多个安装芯杆(14’)，所述安装芯杆(14’)包括杆体和限位环(147)，所述限位环(147)套设于所述杆体，所述杆体的下端与所述拨轮(11)转动连接，所述限位环(147)的下表面与所述拨轮(11)的上表面抵接，所述杆体的上端用于套设待镀膜产品。

11.根据权利要求10所述的工装，其特征在于，所述杆体包括第一杆体(144)、第二杆体(145)和第三杆体(146)，所述第一杆体(144)的直径小于所述第三杆体(146)的直径，所述第二杆体(145)呈锥形，所述第一杆体(144)的下端与所述第二杆体(145)的小端连接，所述第二杆体(145)的大端与所述第三杆体(146)的上端连接，所述限位环(147)套设于所述第三杆体(146)。