[发明专利]阵列式薄膜温差传感器及其制备方法

说明书

本发明公开一种阵列式薄膜温差传感器及其制备方法，阵列式薄膜温差传感器包括基片、正极敏感层及负极敏感层，正极敏感层包括第一正极、第二正极、第三正极及第四正极，负极敏感层包括第一负极、第二负极以及第三负极，第一正极一端与第一负极一端通过第一热结点连接，第二正极一端与第二负极一端通过第二热结点连接，第一负极另一端、第三负极一端均与第三正极一端通过第三热结点连接，第二负极另一端、第三负极另一端均与第四正极一端通过第四热结点连接，第一正极另一端与第三正极另一端分别形成第一测试端与第三测试端，第二正极另一端与第四正极另一端分别形成第二测试端与第四测试端。本发明能用于判断酸碱管道温度均匀性，测试可靠性高。

技术领域

本发明涉及微机电制造及传感器技术领域，特别是涉及一种阵列式薄膜温差传感器及其制备方法。

背景技术

因安全性问题，酸碱管道等对温度的均匀性要求很高。因此，需要对酸碱管道的温度温差进行测量。传统的可测量酸碱管道区域温差的温度传感器，在实际测试中，测试结果不准确，测试精度难以达到要求，可靠性差。

发明内容

基于此，针对传统的可测量酸碱管道区域温差的温度传感器，在实际测试中，测试结果不准确，测试精度难以达到要求，可靠性差的问题，本发明一实施例提供一种阵列式薄膜温差传感器。本发明一实施例的阵列式薄膜温差传感器能够判断酸碱管道温度的均匀性是否满足需求，测试可靠性高。

一种阵列式薄膜温差传感器，包括基片、正极敏感层以及负极敏感层，所述正极敏感层与所述负极敏感层位于所述基片上；所述正极敏感层包括第一正极、第二正极、第三正极以及第四正极，所述负极敏感层包括第一负极、第二负极以及第三负极，所述第一正极的一端与所述第一负极的一端通过第一热结点连接，所述第二正极的一端与所述第二负极的一端通过第二热结点连接，所述第一负极的另一端、所述第三负极的一端均与所述第三正极的一端通过第三热结点连接，所述第二负极的另一端、所述第三负极的另一端均与所述第四正极的一端通过第四热结点连接，所述第一正极的另一端与所述第三正极的另一端相对设置且分别形成第一测试端与第三测试端，所述第二正极的另一端与所述第四正极的另一端相对设置且分别形成第二测试端与第四测试端。

在其中一些实施例中，所述正极敏感层的制备材料选自W-5Re热偶材料、Pt-10Rh热偶材料、Pt-13Rh热偶材料以及Ni-10Cr热偶材料中的一种或几种。

在其中一些实施例中，所述负极敏感层的制备材料选自W-26Re热偶材料、Pt热偶材料以及Ni-3Si热偶材料中的一种或几种。

在其中一些实施例中，所述基片的厚度为300μm-500μm。

在其中一些实施例中，所述基片为硅基底、碳化硅基底或者蓝宝石基底。

在其中一些实施例中，所述第一热结点、所述第二热结点之间的间距与第三热结点、所述第四热结点之间的间距相等。

在其中一些实施例中，所述第一热结点、所述第三热结点之间的间距与第二热结点、所述第四热结点之间的间距相等。

在其中一些实施例中，所述阵列式薄膜温差传感器还包括第一导引线、第二导引线、第三导引线以及第四导引线，所述第一导引线的一端连接于所述第一测试端，所述第二导引线的一端连接于所述第二测试端，所述第三导引线的一端连接于所述第三测试端，所述第四导引线的一端连接于所述第四测试端。

本发明的另一目的还在于提供一种阵列式薄膜温差传感器的制备方法。

一种阵列式薄膜温差传感器的制备方法，包括如下步骤：

获取基片；

采用光刻工艺在所述基片上形成正极图案；

采用直流磁控溅射技术在所述正极图案上沉积获得正极敏感层；

采用光刻工艺在所述基片上形成负极图案；