[发明专利]超分辨率SEM图像实现装置及其方法

权利要求书

1.一种超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，包括：

处理器，其被配置为执行机器可读指令，使得所述装置：

裁剪低分辨率扫描电子显微镜图像，以生成第一裁剪图像和第二裁剪图像，

放大所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像，以生成第一放大图像和第二放大图像，以及

从所述第一放大图像和所述第二放大图像中消除噪声，以生成第一噪声消除图像和第二噪声消除图像。

2.根据权利要求1所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，还包括：

缓冲器，其被配置为存储裁剪所述第一裁剪图像的第一位置和裁剪所述第二裁剪图像的第二位置。

3.根据权利要求1所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，其中，所述处理器被配置为使得所述装置，

基于与彼此接触的所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像相对应的边界线，

生成第一第一裁剪图像，所述第一第一裁剪图像相对于所述第一裁剪图像还包括从所述边界线渗入所述第二裁剪图像中第一长度的第一区域，以及

生成第二第一裁剪图像，所述第二第一裁剪图像相对于所述第二裁剪图像还包括从所述边界线渗入所述第一裁剪图像中第二长度的第二区域。

4.根据权利要求3所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，其中，所述处理器被配置为使得所述装置放大所述第一第一裁剪图像和所述第二第一裁剪图像，以生成第一第一放大图像和第二第一放大图像。

5.根据权利要求4所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，其中，所述处理器被配置为使得所述装置从所述第一第一放大图像和所述第二第一放大图像中消除噪声，以生成第一第一噪声消除图像和第二第一噪声消除图像。

6.根据权利要求1所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，其中，所述处理器被配置为使得所述装置：

对所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像执行卷积，

对执行了卷积的所述第一裁剪图像和执行了卷积的所述第二裁剪图像执行解卷积，以及

通过将选择性跳跃连接应用于所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像以消除所述噪声，来生成所述第一噪声消除图像和所述第二噪声消除图像。

7.根据权利要求1所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现装置，其中，所述处理器还被配置为使得所述装置将所述第一噪声消除图像和所述第二噪声消除图像彼此合并，以生成超分辨率扫描电子显微镜图像。

8.一种超分辨率扫描电子显微镜图像实现方法，包括：

通过由处理器裁剪低分辨率扫描电子显微镜图像来生成第一裁剪图像和第二裁剪图像；

通过放大所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像来生成第一放大图像和第二放大图像；以及

通过从所述第一放大图像和所述第二放大图像中消除噪声来生成第一噪声消除图像和第二噪声消除图像。

9.根据权利要求8所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现方法，还包括：

在缓冲器中存储裁剪所述第一裁剪图像的第一位置和裁剪所述第二裁剪图像的第二位置。

10.根据权利要求8所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现方法，还包括：

通过将所述第一噪声消除图像和所述第二噪声消除图像彼此合并来生成超分辨率扫描电子显微镜图像。

11.根据权利要求8所述的超分辨率扫描电子显微镜图像实现方法，其中，生成所述第一噪声消除图像和所述第二噪声消除图像包括：

通过对所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像执行选择性跳跃连接以消除所述噪声、通过对所述第一裁剪图像和所述第二裁剪图像执行卷积、以及通过对执行了卷积的所述第一裁剪图像和执行了卷积的所述第二裁剪图像执行解卷积，来生成所述第一噪声消除图像和所述第二噪声消除图像。