[发明专利]一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质

说明书

本发明公开了一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质，包括：采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理；在目标图像预先设置的ROI区域内，根据目标边缘拟合得到基准直线；在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度；根据基准直线对目标图像进行角度校正，校正后的目标图像获取引脚区域正向图，并求得引脚轮廓；获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心，并以质心坐标替代引脚顶点坐标，根据质心间距获得引脚间距。本发明不仅提高了边缘直线拟合的准确度，还加快了算法检测速率，大大减少了引脚边缘起伏对检测带来的影响，减少了检测对打光条件的依赖，提高了检测精度。

技术领域

本发明涉及数字图像处理领域，特别涉及一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质。

背景技术

当前对于工业器件的外观尺寸检测大多是靠人眼检测，而人眼检测依赖于人的经验，具有主观性和不稳定性，近年来正在逐渐被各类计算机视觉检测算法取代。

基于传统特征的计算机视觉算法通常分为：图像预处理，人工特征选择与设计，特征提取，进行外观缺陷或尺寸检测等步骤。其中图像预处理包含滤波去噪、图像增强和图像校正等方法，该步骤旨在提高图像质量，凸显特定特征，为后续检测服务；人工特征选择与设计是传统计算机视觉算法的核心，常见的特征有边缘特征、纹理特征和颜色特征等，检测算法的最终准确率与效率直接受所选特征的影响。

近些年来，基于传统特征的计算机视觉算法在工业视觉检测领域的应用越来越广泛，其缺陷也很明显，首先是由于传统计算机视觉检测方法依赖于人工选择特征，算法检测效果直接受所选特征的影响，所以如何针对特定的检测目标选取合适的特征、设计特征提取算法是要着重考虑的问题之一。其次是，传统计算机视觉算法对外界因素敏感，特别是光照因素，很多情况下对达不到打光需求的待检测目标难以进行检测。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺点与不足，本发明的目的在于提供一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种半导体器件引脚尺寸检测方法，包括：

采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理；

在目标图像预先设置的ROI(region of interest)区域内，根据目标边缘拟合得到基准直线；

在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度；

根据基准直线对目标图像进行角度校正，获取校正后的目标图像的引脚区域图，并求得引脚轮廓；

获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心，并以质心坐标替代引脚顶点坐标，根据质心间距获得引脚间距。

进一步，所述采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理，具体为：

使用ROI模版对目标图像进行切片得到图像I，确定半导体器件的尺寸检测区域，然后使用高斯滤波对图像进行去噪处理；

使用OTSU算法获取目标图像分割最佳阈值T；

使用最佳阈值T将目标图像二值化。

进一步，所述使用OTSU算法获取目标图像分割最佳阈值T，具体为：

寻找目标图像的最大灰度值及最小灰度值，分别记为max和min，让阈值变量T遍历区间[min,max],每遍历一个T值，记T为当前阈值，然后根据灰度值是否大于当前阈值将图片灰度分为两类，计算这两类的类间方差g，当类间方差取得最大值时，所对应的T值即为最佳阈值。

进一步，所述在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度，具体为：