[发明专利]一种铜丝表面电镀钯的工艺有效

专利信息
申请号: 202210940973.8 申请日: 2022-08-08
公开(公告)号: CN115012010B 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 王婷;刘炳磊;曲少娜;林良 申请(专利权)人: 烟台一诺电子材料有限公司
主分类号: C25D5/08 分类号: C25D5/08;C25D7/06;C25D5/10;C25D5/34;C25D21/14
代理公司: 烟台钧沣专利代理事务所(普通合伙) 37340 代理人: 丁宝君
地址: 264000 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 铜丝 表面 电镀 工艺
【说明书】:

发明涉及一种铜丝表面电镀钯的工艺,属于电镀技术领域。一种铜丝表面电镀钯的工艺,包括备料、放线及电镀工艺步骤,其特殊之处在于,所述工艺步骤具体如下:步骤1,备料;步骤2,放线:把预镀铜丝装到前端收放丝装置的放线轴上,通过张力系统放线,张力范围10g±0.2g;牵引预镀铜丝依次经过碱洗除油槽、水洗槽A、酸洗活化槽、水洗槽B、电镀槽A、电镀槽B、钯液回收槽和水洗槽C,最后由末端的收放丝装置收线;步骤3,开启溶液循环;步骤4,设定电极的电流及速度;步骤5,补充钯浓缩液;步骤6,开启电镀;步骤7,收线。本申请的技术方案,具有铜表面电镀钯的效果好,镀膜均匀,便于钯液回收等优点。

技术领域

本发明涉及一种铜丝表面电镀钯的工艺,属于电镀技术领域。

背景技术

为了降低集成电路的封装成本,企业越来越多地使用铜丝键合来代替金丝键合,因为键合使用的铜丝,其细度都小于0.1mm,铜又是一种容易氧化的材料,为了保护铜丝的表面不会氧化腐蚀,延长铜丝的寿命,会在铜丝表面电镀一层保护层。使用钯进行电镀是常用的一种保护铜丝的手段,现有的电镀工艺多是采用一次电镀在铜丝表面电镀钯,这样做出的铜丝表面的钯层致密性差,保护效果也不好。本领域的技术人员都在研究,如何能够更好地将钯电镀到铜丝表面,并提高电镀材料的利用率,以降低生产的成本。

发明内容

为了能够提高铜丝表面镀钯层的均匀性和致密性,提供一种铜丝表面电镀钯的工艺。

本发明是通过如下的技术方案,解决上述技术问题:

一种铜丝表面电镀钯的工艺,包括备料、放线及电镀工艺步骤,其特殊之处在于,所述工艺步骤具体如下:

步骤1,备料:准备0.082mm~0.086mm预镀铜丝、电镀液、除油剂、活化剂、纯水;

步骤2,放线:把预镀铜丝装到前端收放丝装置的放线轴上,通过张力系统放线,张力范围10g±0.2g;牵引预镀铜丝依次经过碱洗除油槽、水洗槽A、酸洗活化槽、水洗槽B、电镀槽A、电镀槽B、钯液回收槽和水洗槽C,最后由末端的收放丝装置收线;

步骤3,开启溶液循环:依次开启碱洗除油槽、水洗槽A、酸洗活化槽、水洗槽B、电镀槽A、电镀槽B、钯液回收槽、水洗槽C的作业槽和各自母液槽之间的循环系统,使溶液循环;

步骤4,设定电极的电流及速度:电镀槽A的电镀电流9mA,电镀槽B的电镀电流50mA-150 mA;电镀速度6m/min;

步骤5,补充钯浓缩液:分别开启电镀槽A和电镀槽B的蠕动补液泵,调整流量0.015mL/min~0.04mL/min;

步骤6,开启电镀;

步骤7,收线。

上述电镀工艺的有益效果是:选取0.082mm~0.086mm预镀铜丝,在经过碱洗除油去除铜丝表面的污染物、酸洗活化后,在电镀槽A和电镀槽B经过两次电镀,电镀槽A第一次电镀采用较低的电流使铜丝表面初镀,电镀槽B第二次电镀采用高的电流在一次电镀基础上,进一步对镀层完善,形成更为致密和均匀的镀层,对铜丝提供更完善的保护;同时,工艺中,还设置了钯液回收槽,铜丝在经过电镀槽A和电镀槽B后,铜丝表面附着有部分钯电镀液,钯液回收槽用于对钯液进行回收,钯液会从铜丝上滴落,回收钯液可以提高钯液的利用,降低生产成本。

上述方案中的铜丝,是通过如下的方式进行加工的:

1,熔炼:采用铜芯为4N5高纯铜棒材,添加50-200ppm P基体;使用高频熔炼炉进行熔炼,熔炼过程中,使用氩气进行保护,棒材出口吹氮气降温以防止棒材氧化,制成棒材φ8mm;

2,拉铸:将φ8mm棒材经过粗拉至φ1.55mm,然后再中拉至φ0.32mm,最后细拉至φ0.082mm;

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