[发明专利]一种晶圆传片和测量系统

权利要求书

1.一种晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述晶圆传片和测量系统包括：

载台、传片机器人、寻边机、测量组件和控制器；

所述载台用于放置晶圆花篮；

所述传片机器人用于从所述载台上将所述晶圆花篮中的晶圆传输至所述寻边机，还用于将所述晶圆从所述寻边机传输至所述测量组件以及将所述晶圆从所述测量组件返回至所述晶圆花篮中；

所述寻边机用于纠正晶圆的姿态，以便为所述测量组件提供姿态正确的晶圆；

所述测量组件包括：运动机构和检测机构，所述运动机构用于将所述晶圆移动至拍摄位置，所述检测机构通过拍摄晶圆图像获得晶圆的检测结果；

所述控制器用于在将所述传片机器人获得的晶圆信息处理后，分别向所述传片机器人和所述寻边机发送数据指令，使所述传片机器人将所述晶圆从所述载台传输至所述寻边机，所述寻边机为所述测量组件提供姿态正确的晶圆；

还用于向所述传片机器人发送将所述姿态正确的晶圆由所述寻边机传输至所述测量组件的数据指令，以便所述测量组件对所述晶圆进行检测获得检测结果；还用于向所述传片机器人发送将所述晶圆由所述测量组件传输至所述晶圆花篮的数据指令。

2.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述检测机构包括图像拍摄模块，所述图像拍摄模块用于拍摄由所述运动机构放置拍摄位置的晶圆图像，以便所述晶圆传片和测量系统根据所述晶圆图像获得所述晶圆的检测结果。

3.根据权利要求2所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述检测机构包括激光检测模块和聚焦模块，所述激光检测模块用于获取所述晶圆与所述图像拍摄模块的距离，所述聚焦模块用于获取所述图像拍摄模块与所述晶圆的拍摄焦距，以便所述运动机构根据所述距离和所述拍摄焦距调节所述晶圆的拍摄位置。

4.根据权利要求2所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述检测机构包括：光路模块，所述光路模块用于为所述图像拍摄模块提供拍摄所述晶圆的投射光线。

5.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述晶圆传片和测量系统还包括晶圆盛放板，所述晶圆盛放板与所述寻边机连接，用于由所述传片机器人将所述寻边机上的晶圆放置于所述晶圆盛放板，并且所述晶圆盛放板随所述运动机构移动至拍摄位置。

6.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述传片机器人包括：机械手臂、z轴和转动台；所述机械手臂在水平面内运动，所述z轴沿z轴方向移动，所述转动台用于转动；使得所述传片机器人实现所述晶圆的传输。

7.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述晶圆传片和测量系统包括多个所述载台，所述载台组件还用于放置不同晶圆尺寸的晶圆花篮。

8.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述载台包括位置传感器和凸片检测器，所述位置传感器用于获取所述载台上是否放置晶圆花篮；所述凸片检测器用于检测所述晶圆花篮中晶圆的凸片信息。

9.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述载台可拆卸设置于所述晶圆传片和测量系统。

10.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述传片机器人设置有激光传感器，所述激光传感器用于获知所述载台上晶圆花篮中的每层放置位置是否有晶圆。

11.根据权利要求1所述的晶圆传片和测量系统，其特征在于，所述控制器包括第一控制器、第二控制器和第三控制器；

所述载台与所述传片机器人依次通过第一控制器和第二控制器连接，所述第一控制理器用于接收所述载台获得的晶圆信息，并将所述晶圆信息分析处理后传输至所述第二控制器，其中所述第二控制器用于向所述传片机器人机发送扫描所述晶圆花篮的指令信息以及向所述传片机器人发送将所述晶圆传输至所述寻边机的指令信息；所述第三控制器接收所述第一控制器和所述第二控制器的数据信息并进行分析处理。