[发明专利]弯月面测量装置及方法、基板处理装置

说明书

本发明提供了一种能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。所述弯月面测量方法包括：提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元；使膜与所述多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜上形成检测图案；以及基于所述检测图案，测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。

技术领域

本发明涉及一种弯月面测量装置及方法、基板处理装置。

背景技术

为了制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置，在基板上执行印刷工艺(例如，RGB构图(RGB Patterning))。通过喷墨印刷方式，可以将墨喷到基板上。墨喷出的喷射特性由喷墨头的喷嘴的压力分布和墨的物理特性决定。尤其是，喷墨头的喷嘴中弯月面(meniscus)的位置是决定喷射特性的关键因素之一。

发明内容

发明要解决的课题

本发明要解决的课题是提供能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量方法。

本发明要解决的另一课题是提供能够快速且准确地测量喷墨头的多个喷嘴中的弯月面位置的弯月面测量装置。

本发明要解决的又一课题是提供基板处理装置，该基板处理装置用于通过使用所述弯月板测量方法测量的弯月面来调节从多个喷嘴喷出墨的电压。

本发明的课题不限于以上所提及的课题，本领域技术人员可以通过下面的描述清楚地理解其他未提及的课题。

课题的解决手段

用于达成上述课题的本发明的弯月板测量方法的一个方面(aspect)包括：提供能够通过多个喷嘴来喷出墨的头单元；使膜与所述多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜形成检测图案；以及基于所述检测图案，测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。

用于达成上述另一课题的本发明的弯月板测量装置的一个方面可以包括：基座构件；压力传感器，设置在所述基座构件上；以及膜，设置在所述压力传感器上，所述膜与头单元的多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜上形成检测图案。

用于达成上述又一课题的本发明的基板处理装置的一个方面可以包括：头单元，能够通过多个喷嘴来喷出墨；测量单元，包括用于测量残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面的膜；以及控制模块，控制所述头单元或测量单元来使所述膜与所述多个喷嘴密接，使得残留在所述多个喷嘴内的墨沾到所述膜上，从而在所述膜上形成检测图案，并基于所述检测图案，计算残留在所述多个喷嘴内的墨的弯月面。

其他实施例的具体事项包含在详细说明及附图中。

附图说明

图1是用于说明根据本发明的一实施例的基板处理装置的概念图。

图2是将图1中区域A的放大后的图。

图3是用于说明根据本发明的一实施例的弯月面测量方法的流程图。

图4是用于说明形成在膜上的检测图案的图。

图5是用于说明图3中步骤S30的图。

图6是用于说明根据本发明的一实施例的基板处理装置的动作的概念图。

图7是用于说明根据本发明的另一实施例的弯月面测量方法的流程图。

图8是用于说明根据本发明的另一实施例的另一基板处理装置的图。

图9是用于说明调试方式的图。

图10是用于说明根据本发明的又一实施例的基板处理装置的图。

图11是用于说明根据本发明的又一实施例的基板处理装置的概念图。

具体实施方式