[发明专利]一种晶圆测试方法及系统

权利要求书

1.一种晶圆测试方法，其特征在于，包括：

基于设置参数控制待测晶圆与探针接触，以对所述待测晶圆进行测试；

获取测试参数；

对所述测试参数进行分析，判断所述待测晶圆的测试结果是否异常；

响应于是，调整所述设置参数，利用调整后的所述设置参数对其余待测晶圆进行测试。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述对所述测试参数进行分析，判断所述待测晶圆的测试结果是否异常的步骤，包括：

将所述测试参数与预设参数进行比对，根据比对结果判断所述待测晶圆的测试结果是否异常；

调整所述设置参数的步骤，包括：

分析异常原因，基于所述异常原因调整所述设置参数。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述将所述测试参数与预设参数进行比对，根据比对结果判断所述待测晶圆的测试结果是否异常的步骤，包括：

将所述测试参数与预设参数进行比对，判断所述测试参数是否位于所述预设参数范围内；

响应于所述测试参数位于所述预设参数范围内，利用第一标记对所述测试参数进行标记，以标识所述测试参数对应的测试项有效；

响应于所述测试参数未位于所述预设参数范围内，利用第二标记对所述测试参数进行标记，以标识所述测试参数对应的测试项无效。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述测试方法还包括：

基于所述第一标记和所述第二标记生成测试晶圆图，所述测试晶圆图表征所述待测晶圆的所有测试项的测试结果。

5.根据权利要求4所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述分析异常原因，基于所述异常原因调整所述设置参数的步骤，包括：

获取与所述测试晶圆图匹配的异常类型，以输出所述测试参数的异常类型；

基于所述异常类型调整所述设置参数；其中所述异常类型包括产品相关问题、机台问题、针卡问题以及承载台问题。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述基于所述异常类型调整所述设置参数的步骤，包括：

判断所述异常类型是否为所述产品相关问题：

响应于是，中断所述待测晶圆的测试；

响应于否，调整所述设置参数，基于调整后的设置参数对所述待测晶圆重新测试。

7.根据权利要求3所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述对所述测试参数进行分析，判断所述待测晶圆的测试结果是否异常的步骤，还包括：

对所述测试参数分类整理以得到多组测试数据；

判断多组所述测试数据是否存在标记有所述第二标记的测试参数；

响应于是，判断所述待测晶圆的测试结果异常。

8.根据权利要求7所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述基于数据类型分类整理所述测试结果，得到多组测试数据，包括：

基于数据类型分类整理所述测试参数，得到多组初始测试数据；

基于所述第一标记和所述第二标记分类整理所述多组初始测试数据，得到所述多组测试数据。

9.一种晶圆测试系统，其特征在于，包括：

测试装置，用于基于设置参数控制待测晶圆与探针接触，对所述待测晶圆进行测试；

数据收集装置，连接所述测试装置，用于获取测试参数；

分析与判断装置，连接所述数据收集装置，用于对所述测试参数进行分析，判断所述待测晶圆的测试结果是否异常；

调整装置，连接所述分析与判断装置与所述测试装置，用于响应于所述分析与判断装置判断所述测试结果异常，调整所述设置参数，利用调整后的所述设置参数对其余待测晶圆进行测试。

10.根据权利要求9所述的晶圆测试系统，其特征在于，所述晶圆测试系统还包括：

数据存储装置，连接所述调整装置，用于存储所述设置参数和所述测试参数；

屏幕输出装置，连接所述分析与判断装置，用于基于所述测试参数生成测试晶圆图，输出所述测试晶圆图和与所述测试晶圆图匹配的异常类型；

邮件触发装置，连接所述分析与判断装置，用于整理所述分析与判断装置的判断结果以形成邮件，将所述邮件发送至相关测试人员的邮箱。