[发明专利]高精度共晶装置及共晶方法在审

专利信息
申请号: 202210954512.6 申请日: 2022-08-10
公开(公告)号: CN115172252A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 李金龙;李德荣;李银拴 申请(专利权)人: 佑光智能半导体科技(深圳)有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/68;H01L21/67;H01L21/66;H01L21/60
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 高精度 装置 方法
【说明书】:

本申请涉及共晶技术领域,具体公开了一种高精度共晶装置及共晶方法,高精度共晶装置包括工作台、以及设置在工作台上的收放料机构、共晶机构和驱动机构,收放料机构包括吸嘴,驱动机构包括X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件,X轴驱动组件和Z轴驱动组件用于驱动吸嘴运动,Y轴驱动组件用于驱动共晶机构运动,通过驱动机构的驱动使得芯片精准的放置放料处,从而提升了芯片共晶时的精度;共晶方法为:在吸嘴取料过后,X轴驱动组件调整吸嘴在X轴方向上的位置,Y轴驱动组件调整共晶机构在Y轴方向上的位置,调整过后通过Z轴驱动组件将芯片放置在共晶机构上实现共晶。本申请具有减小芯片共晶时的位置偏差,提高共晶精度的效果。

技术领域

本申请涉及共晶技术领域,尤其是涉及一种高精度共晶装置及共晶方法。

背景技术

共晶焊技术具有传热快、可靠性强等特点,适用于芯片与基板的粘接、基板与管壳的粘接等等,可广泛应用于电子共晶行业,为此出现一种共晶机,可自动实现芯片与基板之间的共晶焊接。

相关技术中的共晶装置包括机架、驱动机构、焊头和共晶台,驱动机构、焊头和共晶台均设置在机架上,焊头吸取芯片后,驱动机构驱动焊头在X、Y方向上运动,在对准共晶台的准确位置后,驱动机构驱动焊头在Z方向上运动将芯片放置在共晶台上从而实现芯片共晶,但是利用相关技术中的共晶机对芯片共晶时,由于驱动机构驱动焊头在X、Y、Z三个方向上运动,导致焊头的负载过大,使得芯片放置在共晶台上时,位置出现偏差。

因此上述技术方案中的共晶装置在芯片共晶的过程中,芯片位置易存在偏差导致芯片共晶时的精度降低。

发明内容

为了减小芯片共晶时的位置偏差,提高共晶精度,本申请提供一种高精度共晶装置及共晶方法。

第一方面,本申请提供的一种高精度共晶装置采用如下的技术方案:

一种高精度共晶装置,包括:

工作台;

收放料机构,沿X轴和Z轴方向活动设置在工作台上,所述收放料机构包括吸嘴,所述吸嘴用于吸取芯片;

共晶机构,沿Y轴方向活动设置在工作台上,所述共晶机构用于放置芯片并完成芯片共晶;

驱动机构,设置在工作台上,所述驱动机构包括X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件,所述X轴驱动组件和所述Z轴驱动组件用于驱动所述收放料机构沿X轴和Z轴方向上运动,所述Y轴驱动组件用于驱动共晶机构沿Y轴方向上运动。

基于上述技术方案,在共晶机工作时,X轴驱动组件驱动吸嘴沿X轴方向运动至芯片拿取处,通过吸嘴吸取芯片并转移芯片至共晶机构处,X轴驱动组件驱动收放料机构沿X轴方向运动,Y轴驱动组件驱动共晶机构沿Y轴方向运动,通过两者之间的配合使得芯片位置精确,再通过Z轴驱动组件驱动吸嘴沿Z轴方向运动至共晶机构上,吸嘴将芯片放置在共晶机构的准确位置处,共晶机构对芯片进行共晶,减小了收放料机构在运动过程中产生的过多负载,从而大大提升了芯片位置的精度,使得在共晶过程中芯片的位置更加精准。

优选的,所述工作台上设置有直线导轨,所述直线导轨沿X轴方向设置,所述X轴驱动组件包括X轴直线电机、第一磁铁和滑块,所述滑块与所述直线导轨滑移连接,所述X轴直线电机与所述滑块固定连接,所述吸嘴安装在所述滑块上,所述X轴直线电机用于驱动所述滑块和所述吸嘴在直线导轨上滑移。

基于上述技术方案,直线导轨沿X轴方向设置,滑块设置在直线导轨上,X轴直线电机驱动滑块和吸嘴沿X轴方向运动至取料处,吸嘴吸取芯片后,X轴直线电机驱动滑块和吸嘴运动至共晶机构上方,吸嘴将芯片放置在共晶机构上。

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