[发明专利]显示装置以及制造该显示装置的方法

说明书

本发明涉及显示装置以及制造该显示装置的方法。该显示装置包括：基板；布置在基板之上的第一半导体层；布置在第一半导体层上的第一绝缘层；布置在第一绝缘层上的第二绝缘层；布置在基板和第二绝缘层之间的第一氧化物材料层；以及第一导电层，布置在第二绝缘层上并且通过限定在第一绝缘层、第二绝缘层和第一氧化物材料层中的第一接触孔电连接到第一半导体层。

本申请要求于2021年8月13日提交的韩国专利申请第10-2021-0107531号的优先权以及从其获得的所有权益，其内容通过引用以其整体并入本文。

技术领域

一个或多个实施例涉及一种显示装置以及制造该显示装置的方法。

背景技术

显示装置可视地显示数据。显示装置用于诸如移动电话的小型化产品的显示器中，并且用于诸如电视的大型产品的显示器中。

显示装置包括多个像素，多个像素中的每一个像素接收电信号并且发光以显示图像。每个像素包括显示元件。作为示例，有机发光显示装置包括有机发光二极管作为显示元件。通常，有机发光显示装置通过在基板之上包括薄膜晶体管和有机发光二极管来操作，其中，有机发光二极管自发地发光。

最近，随着显示装置广泛地用于各种领域中，已经以各种方式尝试了提高显示装置的质量的设计。

发明内容

一个或多个实施例包括一种显示装置以及制造该显示装置的方法，该显示装置当形成通过其暴露半导体层的至少一部分的接触孔时防止无机层的一部分保留。

根据一个或多个实施例，一种显示装置包括：基板；布置在基板之上的第一半导体层；布置在第一半导体层上的第一绝缘层；布置在第一绝缘层上的第二绝缘层；布置在基板和第二绝缘层之间并且具有水溶性的第一氧化物材料层；以及第一导电层，布置在第二绝缘层上并且通过限定在第一绝缘层、第二绝缘层和第一氧化物材料层中的第一接触孔电连接到第一半导体层。

在实施例中，第一氧化物材料层可以布置在第一绝缘层和第二绝缘层之间。

在实施例中，第一氧化物材料层可以布置在第一半导体层和第一绝缘层之间。

在实施例中，第一氧化物材料层可以包括选自钼氧化物(MoO_x)和钨氧化物(WO_x)中的至少一种。

在实施例中，第一氧化物材料层可以具有在大约30埃至大约的范围内的厚度。

在实施例中，显示装置可以进一步包括：与第一半导体层绝缘的第一栅电极；以及布置在第一绝缘层和第二绝缘层之间的上电极。

在实施例中，第一氧化物材料层可以直接布置在上电极上。

在实施例中，显示装置可以进一步包括：第二半导体层，布置在与第一半导体层布置在其中的层不同的层中，其中，第一半导体层可以包括氧化物半导体材料，并且第二半导体层可以包括硅半导体材料。

在实施例中，第二半导体层可以比第一半导体层更靠近基板布置。

在实施例中，显示装置可以进一步包括：布置在第二绝缘层上的第二导电层，其中，第二导电层可以通过第二接触孔电连接到第二半导体层。

在实施例中，显示装置可以进一步包括：与第二半导体层绝缘的第二栅电极；以及布置在第二栅电极上的第二氧化物材料层。

在实施例中，显示装置可以进一步包括：布置在基板上的底部金属层；以及布置在底部金属层和第一半导体层之间的缓冲层。

在实施例中，第一氧化物材料层可以布置在底部金属层和第一半导体层之间。

在实施例中，第一导电层可以通过第三接触孔电连接到底部金属层。