[发明专利]一种脊形波导制作方法在审
| 申请号： | 202210965193.9 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115291325A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 梁万国;冯新凯 | 申请（专利权）人： | 福建中科晶创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所(普通合伙) 35001 | 代理人： | 郭梦羽 |
| 地址： | 350100 福建省福州市闽侯县上街镇海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 脊形波导 制作方法 | ||
1.一种脊形波导制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
将晶片切割成特定尺寸的晶体(100)；所述晶片为周期极化铌酸锂晶片；
在所述晶体(100)上切割出宽度为W，深度为H的波导(101)；切割后的所述晶体包括波导(101)和底座(102)；
将基底(200)切割成特定尺寸，在所述基底(200)上切割出宽度大于W，深度大于H的凹槽(201)；
胶合所述基底(200)和所述晶体(100)，得到脊形波导(300)，胶合时，所述波导(101)位于所述凹槽(201)中；
对所述底座(102)进行抛光减薄，形成薄层(103)；
对所述脊形波导(300)的端面进行抛光再镀膜。
2.根据权利要求1所述脊形波导制作方法，其特征在于，所述凹槽(201)的宽度和深度比所述波导(101)的宽度W和深度H大1-200微米。
3.根据权利要求2所述脊形波导制作方法，其特征在于，胶合时，所述波导(101)与所述凹槽(201)处通过胶水进行胶合，且胶水的折射率低于周期极化铌酸锂晶体的折射率。
4.根据权利要求2所述脊形波导制作方法，其特征在于，胶合时，所述波导(101)与所述凹槽(201)处无胶水。
5.根据权利要求3或4所述脊形波导制作方法，其特征在于，所述基底(200)的材料的热膨胀系数与周期极化铌酸锂晶体的热膨胀系数相同或相近。
6.根据权利要求5所述脊形波导制作方法，其特征在于，所述基底(200)的材料为铌酸锂晶体。
7.根据权利要求3或4所述脊形波导制作方法，其特征在于，所述脊形波导(300)的端面为斜面。
8.根据权利要求7所述脊形波导制作方法，其特征在于，所述脊形波导(300)的端面倾角为5°-12°。
9.根据权利要求1所述脊形波导制作方法，其特征在于，所述周期极化铌酸锂晶体(100)与所述基底(200)的尺寸相同。
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