[发明专利]核心插入式螺旋管及其制造方法

权利要求书

1.一种核心插入式螺旋管，其特征在于，包括：

螺旋金属管，所述螺旋金属管在其中具有空白空间；以及

弹性核心构件，所述弹性核心构件定位在所述螺旋金属管内部。

2.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于，

当所述螺旋金属管的内径定义为“t”且所述弹性核心构件的直径定义为“d”时，所述弹性核心构件的所述直径(d)小于或等于所述螺旋金属管的所述内径(t)。

3.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于，

当所述螺旋金属管的内径定义为“t”且所述弹性核心构件的直径定义为“d”时，所述弹性核心构件的所述直径(d)大于所述螺旋金属管的所述内径(t)。

4.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于

所述弹性核心构件为硅橡胶或填有无机填充剂的硅橡胶，且所述弹性核心构件是以线状处理，进行第一次发泡，然后插入到所述螺旋金属管中，并且进行第二次发泡使得所述弹性核心构件与所述螺旋金属管的内侧接触。

5.根据权利要求1所述的核心插入式螺旋管，其特征在于

所述螺旋金属管由以下制成：铍铜、不锈钢、埃尔吉洛伊非磁性合金、哈氏合金、阿斯特罗洛伊镍基超耐热合金、铬镍铁合金、镍基变形高温合金、沉淀强化镍基合金、瓦斯帕洛伊变形镍基耐热合金、蒙乃尔合金、镍铁铬合金、变形超耐热合金、迪斯卡洛伊涡轮叶片用耐热合金、或铝/钛/铝包层，或者所述金属管镀覆有选自金、锡、镍和银的任一种或两种或更多种的混合金属。

6.根据权利要求1到5任一项所述的核心插入式螺旋管，其特征在于

所述核心插入式螺旋管是在半导体工艺中使用的等离子设备上安装的用于RF接地的金属管。

7.一种核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于，包括：

以线状处理弹性核心构件的第一步骤；

对以所述线状处理的所述弹性核心构件进行第一次发泡的第二步骤；

将所述第一次发泡的所述弹性核心构件插入到其中具有空白空间的螺旋金属管的内侧中的第三步骤；以及

对插入到所述螺旋金属管的所述内侧中的所述弹性核心构件进行第二次发泡的第四步骤。

8.根据权利要求7所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于

所述弹性核心构件为硅橡胶或填有无机填充剂的硅橡胶。

9.根据权利要求8所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于

在所述第一次发泡中，所述硅橡胶的发泡比例为1％到50％。

10.根据权利要求9所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于

在所述第二次发泡中，所述硅橡胶的所述发泡比例为20％到100％，并且在所述第二次发泡中的所述硅橡胶的所述发泡比例大于在所述第一次发泡中的所述硅橡胶的所述发泡比例。

11.根据权利要求7所述的核心插入式螺旋管的制造方法，其特征在于，

当所述螺旋金属管的内径定义为“t”且所述弹性核心构件的直径定义为“d”时，通过所述第二次发泡的所述弹性核心构件的所述直径(d)等于或大于所述螺旋金属管的所述内径(t)。