[发明专利]核心插入式螺旋管及其制造方法

说明书

本发明涉及核心插入式螺旋管及其制造方法，且更具体来说，涉及通过将聚合物弹性材料插入到金属螺旋管中而具有改进的重复弹性属性的核心插入式螺旋管，及其制造方法。

技术领域

本发明涉及核心插入式螺旋管及其制造方法，且更具体来说，涉及通过将聚合物弹性材料插入到金属螺旋管中而具有改进的重复弹性属性的核心插入式螺旋管，及其制造方法。

背景技术

使用例如真空沉积和干式蚀刻的等离子的半导体制造工艺设备由于在工艺操作期间的高等离子密度和驱动电力而遭受严重的热问题和各种电磁问题。由于这些热和电磁问题，硅晶片的工艺良率极大地受到影响，确切来说，解决高电压施加到的上部电极和下部电极的电磁波屏蔽是主要的挑战。

图1示出了使用等离子的半导体制造工艺设备中使用的常规螺旋管100的示意图。如图1所示出，在常规螺旋管100中，弹性核心构件20a定位于螺旋金属管10的内侧上；然而，由于在螺旋金属管10的内表面和弹性核心构件20a的外表面之间形成了空间，因此存在以下问题：由于作为半导体工艺的等离子工艺中使用的用于RF接地的金属(例如Al/Ti/Al包层、BeCu、哈斯特合金(hastelloy)、埃尔吉洛伊非磁性合金(elgiloy)等)螺旋管中的重复压力施加和移除，螺旋管的形状变形且弹力降低。

已经对有效地阻挡电磁波的螺旋管进行了大量研究。然而，需要对具有可长时间使用且同时维持重复使用的螺旋管的弹力的特征的螺旋管及其制造方法的研究。

相关技术文件

专利文件

((参考文件1)韩国专利申请公开案第2012-0089291号

(参考文件2)韩国专利申请公开案第2005-0042419号

(参考文件3)韩国专利申请公开案第2009-0068846号

(参考文件4)日本专利申请公开案第1992-048695号

(参考文件5)日本专利申请公开案第2001-182833号

(参考文件6)日本专利公开案第5514278号

发明内容

为了解决以上问题，本发明旨在通过安装待插入到金属螺旋管中的聚合物弹性材料以改进核心插入式螺旋管的重复弹性特性，所述核心插入式螺旋管是作为半导体工艺的等离子装置中使用的用于RF接地的金属。

技术解决方案

根据本发明的实施例的核心插入式螺旋管包含其中具有空白空间(empty space)的螺旋金属管；和定位于螺旋金属管内部的弹性核心构件。

当螺旋金属管的内径定义为“t”且弹性核心构件的直径定义为“d”时，弹性核心构件的直径(d)小于或等于螺旋金属管的内径(t)。

当螺旋金属管的内径定义为“t”且弹性核心构件的直径定义为“d”时，弹性核心构件的直径(d)大于螺旋金属管的内径(t)。

弹性核心构件为硅橡胶(silicon rubber)或填有无机填充剂的硅橡胶，且弹性核心构件是以线状处理，进行第一次发泡，然后插入到螺旋金属管中，并且进行第二次发泡使得弹性核心构件与螺旋金属管的内侧接触。

螺旋金属管由以下制成：铍铜、不锈钢、埃尔吉洛伊非磁性合金(elgiloy)、哈氏合金(hasteloy)、阿斯特罗洛伊镍基超耐热合金(aastroloy)、铬镍铁合金(inconel)、镍基变形高温合金(rene)、沉淀强化镍基合金(udimet)、瓦斯帕洛伊变形镍基耐热合金(waspaloy)、蒙乃尔合金(nimonie)、镍铁铬合金(incoloy)、变形超耐热合金(pyromet)、迪斯卡洛伊涡轮叶片用耐热合金(discaloy)、或铝/钛/铝包层，或者金属管镀覆有选自金、锡、镍和银的任一种或两种或更多种的混合金属。