[发明专利]晶圆用UV减粘胶及其制备方法、晶圆用UV减粘胶带在审
申请号: | 202210977235.0 | 申请日: | 2022-08-15 |
公开(公告)号: | CN115197663A | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 李丹丹 | 申请(专利权)人: | 芊惠半导体科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C09J133/08 | 分类号: | C09J133/08;C09J175/14;C09J4/06;C09J4/02;C09J7/30;C08F220/18;C08F220/14;C08F220/06;C08F220/20;C08F226/10;H01L21/683 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张金铭 |
地址: | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆用 uv 粘胶 及其 制备 方法 | ||
1.一种晶圆用UV减粘胶,其特征在于,主要由以下质量份数计的原料制备而成:
第一单体30-60份、第二单体10-30份、第三单体2-10份、第四单体1-5份、聚合引发剂0.01-0.5份、溶剂100-200份、多官能团聚氨酯丙烯酸酯类预聚物和/或多官能团丙烯酸酯类单体5-15份,以及光引发剂0.5-2份;
其中,所述第一单体包括丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸异辛酯以及甲基丙烯酸异辛酯中的至少一种;
所述第二单体包括丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、邻苯二甲酸二烯丙酯、苯乙烯、乙酸乙烯酯以及丙烯酸环已酯中的至少一种;
所述第三单体包括丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯以及丙烯酰胺中的至少一种;
所述第四单体包括N-羟甲基丙烯酰胺、马来酸二异辛酯、富马酸二丁酯、2-氨基乙基甲基丙烯酸酯、2-金刚烷基-甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、甲基丙烯酸月桂酯、丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸异冰片酯、NVP、THFMA、PHEMA、环己烷二甲醇二甲基丙烯酸酯、1,10-癸二醇二丙烯酸酯以及1,5-戊二醇二丙烯酸酯中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的晶圆用UV减粘胶,其特征在于,所述聚合引发剂包括过氧化二苯甲酰、偶氮二异丁腈以及V-601中的至少一种;
优选地,所述溶剂包括甲苯、乙酸乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯以及丙酮中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的晶圆用UV减粘胶,其特征在于,所述多官能团聚氨酯丙烯酸酯类预聚物包括带有羟基的多官能团聚氨酯丙烯酸酯类预聚物和不带有羟基的多官能团聚氨酯丙烯酸酯类预聚物中的至少一种;
优选地,所述多官能团丙烯酸酯类单体包括带有羟基的多官能团丙烯酸酯类单体和不带有羟基的多官能团丙烯酸酯类单体中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的晶圆用UV减粘胶,其特征在于,所述光引发剂包括光引发剂TPO、光引发剂651、光引发剂184、光引发剂907、光引发剂651以及光引发剂369中的至少一种。
5.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆用UV减粘胶,其特征在于,所述UV减粘胶的原料还包括抗静电剂、固化剂以及偶联剂中的至少一种;
优选地,所述抗静电剂的质量份数为1-5份;
优选地,所述抗静电剂包括抗静电剂ASA。
6.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆用UV减粘胶,其特征在于,所述UV减粘胶的相对分子质量为200000-1000000。
7.一种权利要求1-6任一项所述的晶圆用UV减粘胶的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
将各原料按比例混合,反应,得到所述晶圆用UV减粘胶。
8.根据权利要求7所述的晶圆用UV减粘胶的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:
A、将第一单体、第二单体、第三单体以及部分第四单体混合,得到混合单体A;
B、部分混合单体A、部分溶剂以及部分聚合引发剂混合反应,得到混合物B;
C、混合物B与剩余聚合引发剂、剩余混合单体A以及剩余第四单体混合反应,得到母胶;
D、步骤C得到的母胶与剩余溶剂混合后,再加入多官能团聚氨酯丙烯酸酯类预聚物和/或多官能团丙烯酸酯类单体混合,之后加入抗静电剂和固化剂混合,再加入光引发剂混合,得到所述晶圆用UV减粘胶。
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