[发明专利]一种硅片取片装置及取片方法

权利要求书

1.一种硅片取片装置，其特征在于，包括装置主体，以及设置于装置主体上的升降连杆机构、对位机构及吸盘模组，升降连杆机构与对位机构及吸盘模组相连，对位机构能够带动吸盘模组在X方向、Y方向及R方向移动；所述吸盘模组包括固定支架、横向移动组件、纵向移动组件及吸盘组件，纵向移动组件与固定支架相连，横向移动组件固定于固定支架上，横向移动组件与吸盘组件相连。

2.如权利要求1所述的硅片取片装置，其特征在于，所述吸盘模组为多个，多个吸盘模组均与所述对位机构相连，多个吸盘模组沿着装置主体的横向方向排列。

3.如权利要求1所述的硅片取片装置，其特征在于，所述升降连杆机构包括升降固定板、升降驱动组件、两个升降滚珠丝杠组件及连杆组件，所述升降驱动组件与两个升降滚珠丝杠组件相连，升降滚珠丝杠组件与连杆组件相连，连杆组件与升降固定板相连，吸盘模组固定于升降固定板上。

4.如权利要求3所述的硅片取片装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括升降固定支架、伺服电机、主动轮、两个从动轮、两个导向轮及传动带，伺服电机固定于升降固定架上，伺服电机与主动轮相连，主动轮通过传动带与两个从动轮相连，两个导向轮分别与传动带相连，两个导向轮分别位于主动轮与两个从动轮之间。

5.如权利要求4所述的硅片取片装置，其特征在于，所述升降固定架的相对的两侧分别设有升降导轨，两个升降滚珠丝杠组件分别与两侧的升降导轨相连，两个从动轮分别与两个升降滚珠丝杠组件相连。

6.如权利要求1至5任一项所述的硅片取片装置，其特征在于，所述对位机构包括对位平台，对位平台上设置有X轴对位组件、Y轴对位组件及多个R轴对位组件，X轴对位组件、Y轴对位组件分别与R轴对位组件相连，多个R轴对位组件与升降连杆机构相连。

7.如权利要求6所述的硅片取片装置，其特征在于，所述X轴对位组件包括X轴驱动电机、X轴滚珠丝杆组件、X轴移动连接板及X轴移动导轨，X轴驱动电机与X轴滚珠丝杆组件相连，X轴移动连接板与X轴滚珠丝杆组件相连，X轴移动连接板与R轴对位组件相连，R轴对位组件与X轴移动导轨相连。

8.如权利要求6所述的硅片取片装置，其特征在于，所述R轴对位组件包括R轴固定座、对位导轨、UVW三相电机及电机固定板，R轴固定座与X轴对位组件或Y轴对位组件相连，R轴固定座通过滑块与对位导轨相连，对位导轨固定于电机固定板上，UVW三相电机固定于电机固定板上。

9.如权利要求1-5任一项所述的硅片取片装置，其特征在于，所述横向移动组件包括横向移动驱动气缸、横向移动连接块、横向移动导轨及多个吸盘连接板，横向移动驱动气缸与横向移动连接块相连，横向移动连接块与一个吸盘连接板相连，多个吸盘连接板分别与横向移动导轨相连，相邻吸盘连接板之间分别通过移动导向板相连，移动导向板上设有导向槽，吸盘连接板通过移动导向板及导向槽与相邻的吸盘连接板相连；吸盘模组包括多个吸盘组件，多个吸盘组件分别与多个吸盘连接板相连，固定支架上设有多个限位槽，多个吸盘组件位于限位槽内。

10.一种硅片取片方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据载板上硅片的放置位置通过对位机构在X方向、Y方向及R方向调整吸盘模组的位置；

吸盘模组的横向移动组件、纵向移动组件分别在横向方向及纵向方向调节吸盘模组的多个吸盘组件的位置；

升降连杆机构带动吸盘组件向下移动，通过吸盘组件吸取硅片。