[发明专利]一种硅片取片装置及取片方法在审

专利信息
申请号: 202210981826.5 申请日: 2022-08-16
公开(公告)号: CN115295466A 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 周军;戴秋喜;潘加永;刘光照 申请(专利权)人: 苏州映真智能科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市高新区建林*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 装置 方法
【说明书】:

发明公开了一种硅片取片装置及取片方法,该取片装置包括装置主体,以及设置于装置主体上的升降连杆机构、对位机构及吸盘模组,升降连杆机构与对位机构及吸盘模组相连,对位机构能够带动吸盘模组在X方向、Y方向及R方向移动;所述吸盘模组包括固定支架、横向移动组件、纵向移动组件及吸盘组件,纵向移动组件与固定支架相连,横向移动组件固定于固定支架上,横向移动组件与吸盘组件相连。本发明能够自动实现载板上硅片的取片,提高了硅片的取片效率,节省了人工成本。

技术领域

本发明涉及太阳能电池片领域,更具体的说,是一种硅片取片装置及取片方法。

背景技术

太阳能电池片分为晶硅类和非晶硅类,其中晶硅类电池片又可以分为单晶电池片和多晶电池片。硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低。

在太阳能电池片生产过程中,需要将硅片取片至输送带等输送装置上输送至不同的工序进行处理。在现有技术中,一般通过人工实现载板上硅片的取片,但是人工取片效率较低,且人工成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片取片装置及取片方法,该装置能够自动实现载板上硅片的取片,提高了硅片的取片效率,节省了人工成本。

其技术方案如下:

本发明在一实施例中公开一种硅片取片装置,包括装置主体,以及设置于装置主体上的升降连杆机构、对位机构及吸盘模组,升降连杆机构与对位机构及吸盘模组相连,对位机构能够带动吸盘模组在X方向、Y方向及R方向移动;所述吸盘模组包括固定支架、横向移动组件、纵向移动组件及吸盘组件,纵向移动组件与固定支架相连,横向移动组件固定于固定支架上,横向移动组件与吸盘组件相连。

进一步地,所述吸盘模组为多个,多个吸盘模组均与所述对位机构相连,多个吸盘模组沿着装置主体的横向方向排列。

进一步地,所述升降连杆机构包括升降固定板、升降驱动组件、两个升降滚珠丝杠组件及连杆组件,所述升降驱动组件与两个升降滚珠丝杠组件相连,升降滚珠丝杠组件与连杆组件相连,连杆组件与升降固定板相连,吸盘模组固定于升降固定板上。

进一步地,所述升降驱动组件包括升降固定支架、伺服电机、主动轮、两个从动轮、两个导向轮及传动带,伺服电机固定于升降固定架上,伺服电机与主动轮相连,主动轮通过传动带与两个从动轮相连,两个导向轮分别与传动带相连,两个导向轮分别位于主动轮与两个从动轮之间。

进一步地,所述升降固定架的相对的两侧分别设有升降导轨,两个升降滚珠丝杠组件分别与两侧的升降导轨相连,两个从动轮分别与两个升降滚珠丝杠组件相连。

进一步地,所述对位机构包括对位平台,对位平台上设置有X轴对位组件、Y轴对位组件及多个R轴对位组件,X轴对位组件、Y轴对位组件分别与R轴对位组件相连,多个R轴对位组件与升降连杆机构相连。

进一步地,所述X轴对位组件包括X轴驱动电机、X轴滚珠丝杆组件、X轴移动连接板及X轴移动导轨,X轴驱动电机与X轴滚珠丝杆组件相连,X轴移动连接板与X轴滚珠丝杆组件相连,X轴移动连接板与R轴对位组件相连,R轴对位组件与X轴移动导轨相连。

进一步地,所述R轴对位组件包括R轴固定座、对位导轨、UVW三相电机及电机固定板,R轴固定座与X轴对位组件或Y轴对位组件相连,R轴固定座通过滑块与对位导轨相连,对位导轨固定于电机固定板上,UVW三相电机固定于电机固定板上。

进一步地,所述横向移动组件包括横向移动驱动气缸、横向移动连接块、横向移动导轨及多个吸盘连接板,横向移动驱动气缸与横向移动连接块相连,横向移动连接块与一个吸盘连接板相连,多个吸盘连接板分别与横向移动导轨相连,相邻吸盘连接板之间分别通过移动导向板相连,移动导向板上设有导向槽,吸盘连接板通过移动导向板及导向槽与相邻的吸盘连接板相连;吸盘模组包括多个吸盘组件,多个吸盘组件分别与多个吸盘连接板相连,固定支架上设有多个限位槽,多个吸盘组件位于限位槽内。

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