[发明专利]引线位置检测装置及检测方法在审
申请号: | 202210987121.4 | 申请日: | 2022-08-17 |
公开(公告)号: | CN115388768A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 王宝吉;王彬宇;陈宇;库庆 | 申请(专利权)人: | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;H01L21/66 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孙际德 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 引线 位置 检测 装置 方法 | ||
本申请揭示了一种引线位置检测装置及检测方法,该装置包括电源模块、信号采集模块、信号处理模块及通讯输出模块;电源模块提供电压;信号采集模块包括N组红外对射组件,信号处理模块包括电流电压转换单元、信号放大滤波单元和信号处理单元,电流电压转换单元将电流信号转换为电压信号;信号放大滤波单元将电压信号进行放大滤波处理;信号处理单元将处理后的电压与预存的基准电压对比得到引线位置信息;通讯输出模块将引线位置信息输出给控制器。本申请通过N组红外对射组件实时检测,信号处理模块对数据进行处理和计算后与预存的基准电压对比,得到准确的引线位置信息,实现实时监控、量程可控、提高检测精度的效果。
技术领域
本申请属于半导体元件键合技术领域,涉及一种引线位置检测装置及检测方法。
背景技术
在半导体行业中,芯片与芯片之间的信号互通,芯片与基板之间的电气互联都是通过引线实现的,键合机在进行引线键合时需要实时检测引线的位置,用于连续供应引线并保证引线的张力保持一致。
目前常用的非接触式检测装置要求被检测物体不能太小,而且检测量程很小,针对直径很小的引线,或者运动幅度大的情况就起不到检测的目的。
发明内容
为了解决相关技术中的问题,本申请提供了一种引线位置检测装置及检测方法。技术方案如下:
第一方面,本申请提供一种引线位置检测装置,所述引线位置检测装置包括电源模块、信号采集模块、信号处理模块及通讯输出模块;
所述电源模块被配置为向所述信号采集模块及所述信号处理模块提供电压;
所述信号采集模块包括N组红外对射组件,每组红外对射组件均对应一个信号源通道,且每组红外对射组件包括相对间隔设置的红外信号发射器和红外信号接收器;
所述信号处理模块包括电流电压转换单元、信号放大滤波单元和信号处理单元,所述电流电压转换单元被配置为接收所述红外信号接收器获取的电流信号并将获取的所述电流信号转换为电压信号;所述信号放大滤波单元被配置为将所述电流电压转换单元输出的电压信号进行放大和滤波处理,获得处理后的电压;所述信号处理单元被配置为采集所述处理后的电压并将所述处理后的电压与预先存储的基准电压对比后得到引线位置信息;
所述通讯输出模块被配置为将所述信号处理模块得到的所述引线位置信息输出给控制器。
通过信号采集模块实时采集N组红外对射组件的电流信号,经过信号处理模块进行处理和计算后与预先存储的基准电压对比,得到准确的引线位置信息,实现实时监控、量程可控、提高检测精度的效果。
可选的,所述引线位置检测装置还包括N个开关,所述N个开关分别设置于所述N组红外对射组件和所述电流电压转换单元之间,以用于导通或断开所述红外对射组件和所述电流电压转换单元之间的电路。
通过设置N个开关,分别将N组红外对射组件与电流电压转换单元进行导通,实现一个电流电压转换单元轮询检测所有信号源通道的功能。
第二方面,本申请还提供一种引线位置检测方法,采用如第一方面以及第一方面各种可选方式中提供的引线位置检测装置,所述引线位置检测方法包括:
在上电后,获取N个信号源通道的基准电压;
在进行第i次判定时,依次读取N个信号源通道的实时电压;
对于每个信号源通道,将所述信号源通道的实时电压和所述信号源通道的基准电压进行对比,确定待选信号源通道;
根据所述待选信号源通道中确定出最优信号源通道,将所述最优信号源通道对应的位置信息确定为引线的位置信息,完成第i次判定。
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