[发明专利]一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法

权利要求书

1.一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：成品轧制：对4J36进行精密轧制，成品轧程变形率为50%-70%，4J36成品厚度≤0.05mm，厚度公差控制在±0.002mm；

步骤二：清洗：成品轧制后使用化学喷洗液清洗带钢表面进行脱脂，化学喷洗液为化学喷洗液碱性脱脂剂，浓度配置为3-5%，依次经预喷淋、刷洗机和高压喷淋，预喷淋、刷洗机和高压喷淋水箱的水温均为60-80℃，经烘干机烘干后表面洁净无轧制油残留；

步骤三：拉矫：经过清洗后进行板型拉矫，超薄料采用张力模式，拉矫后板型平直，无明显轧制浪；

步骤四：热处理：对拉矫后的4J36进行退火热处理，退火温度600-700℃，退火工艺速度5-10m/min。

2.根据权利要求1所述的一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：步骤一中进行轧制所述4J36采用四立柱二十辊轧机精密轧制。

3.根据权利要求1所述的一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：步骤一中成品轧程变形率的控制采用成品道次采用3-5道次，第一道次变形量控制在22～35%之间，中间道次变形量控制在10～20%之间，成品道次变形量控制在7～15%之间的方式。

4.根据权利要求1所述的一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：步骤三中矫直采用二十三辊拉矫机，卷取采用厚壁钢套筒，壁厚100-150mm。

5.根据权利要求1所述的一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：步骤四中热处理采用卧式TA退火炉进行钢带的张力退火。

6.根据权利要求1所述的一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：步骤四中加热炉的张力大于等于100kg时，所述加热炉采用张力辊模式；当加热炉的张力小于100kg时，所述加热炉采用弹跳辊模式。

7.根据权利要求1所述的一种半蚀刻用低膨胀合金4J36去应力退火工艺方法，其特征在于：炉内气氛采用全氢或全氮气保护性气氛，其中采用全氢保护性气氛时氢气纯度不低于99.999％，氢气的露点不高于-60℃；采用全氮气保护性气氛时氮气纯度不低于99.99％，氮气露点不高于-50℃。