[发明专利]真空装置、电子器件的制造装置

权利要求书

1.一种真空装置，该真空装置具备：

第一腔室；

第二腔室，与所述第一腔室连结；以及

支承单元，支承所述第一腔室和所述第二腔室，

其特征在于，

所述支承单元具备：第一台座，具有固定所述第一腔室的底面的第一固定面；第二台座，具有固定所述第二腔室的底面的第二固定面；以及连接部，连接所述第一台座和所述第二台座，

所述支承单元通过所述连接部进行弯曲，以使沿着所述第一固定面的面与沿着所述第二固定面的面所成的角的角度产生变化。

2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

该真空装置还具有闸阀，该闸阀设置在所述第一腔室与所述第二腔室之间，对用于基板从第一腔室的内部到第二腔室的内部通过的通路进行开闭。

3.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，

在所述支承单元的所述连接部设置有用于所述闸阀的阀芯移动的空间。

4.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述连接部由通过螺钉部件的紧固而相互连接的多个构件构成，

所述第一台座通过螺钉部件的紧固而与所述连接部连接，

供用于将所述多个构件相互连接的所述螺钉部件的轴部插通的贯通孔和供用于将所述连接部和所述第一台座连接的所述螺钉部件的轴部插通的贯通孔中的至少一方是在基板在所述第一腔室和所述第二腔室之间移动的移动方向上长的长孔。

5.根据权利要求4所述的真空装置，其特征在于，

供用于将所述多个构件相互连接的所述螺钉部件的轴部插通的贯通孔和供用于将所述连接部与所述第一台座连接的所述螺钉部件的轴部插通的贯通孔中的至少一方是在与所述移动方向正交的方向上长的长孔。

6.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述支承单元还具备支柱，该支柱与所述第一台座连接，从下方支承所述第一台座。

7.根据权利要求6所述的真空装置，其特征在于，

所述第二台座具备在与所述第一固定面平行的方向上延伸的旋转轴部，能够旋转地支承于所述连接部，

所述连接部具备轴夹紧构件，该轴夹紧构件能够在规定的旋转位置紧固所述旋转轴部而固定所述第二台座相对于所述第一台座的位置。

8.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，

所述支承单元能够弯曲成所述第二固定面相对于所述第一固定面的角度成为大致直角，

从所述旋转轴部到所述支柱的下方侧的端部的与所述第一固定面正交的方向上的距离大于从所述旋转轴部到所述第二台座的远离所述连接部的一侧的端部的距离。

9.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述支承单元还具备从下方支承所述第二台座的腿构件、和连接所述第二台座与所述腿构件的腿连接构件，

所述腿构件能够旋转地支承于所述腿连接构件。

10.根据权利要求9所述的真空装置，其特征在于，

在所述第一固定面与所述第二固定面平行时，所述腿构件与沿着所述第二固定面的面垂直，

当所述第一固定面与所述第二固定面不平行时，所述腿构件位于沿着所述第二固定面的方向。

11.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述第一腔室是具备搬送基板的机器人手的回旋室。

12.根据权利要求11所述的真空装置，其特征在于，

所述第二腔室是相对于所述第一腔室位于所述基板的搬送方向的下游侧、且具备载置所述基板的载置台的路径室，

所述载置台能够进行向与所述基板的载置面平行的第一方向的移动、向与所述第一方向正交且同所述基板的载置面平行的第二方向的移动、以与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向为旋转轴的旋转中的至少一个的驱动。