[发明专利]物理量检测元件、物理量传感器以及物理量传感器装置

权利要求书

1.一种物理量检测元件，其特征在于，

所述物理量检测元件包括：

第一基端部及第二基端部；

一对振动梁，在所述第一基端部与所述第二基端部之间延伸；以及

多个激励电极，设置在所述一对振动梁的每一个的表面上，

所述振动梁具有第一区域、第二区域和第三区域，

所述第一区域位于所述第二区域与所述第一基端部之间，所述第三区域位于所述第二区域与所述第二基端部之间，

所述多个激励电极中的设置在所述第一区域中的激励电极被配置成：距所述第一基端部的距离为所述振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下，

所述多个激励电极中的设置在所述第三区域中的激励电极被配置成：距所述第二基端部的距离为所述振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下。

2.根据权利要求1所述的物理量检测元件，其特征在于，

设置在所述第一区域中的所述激励电极被配置成：覆盖从所述第一基端部起到所述振动梁的全长的9.2％以上且21.5％以下的部分，

设置在所述第三区域中的所述激励电极被配置成：覆盖从所述第二基端部起到所述振动梁的全长的9.2％以上且21.5％以下的部分。

3.根据权利要求1或2所述的物理量检测元件，其特征在于，

设置在所述第二区域中的所述激励电极的长度是所述振动梁的全长的15.3％以上且40.0％以下。

4.一种物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器包括：

权利要求1至3中任一项所述的物理量检测元件；

悬臂，固定所述物理量检测元件；以及

封装件，收容所述物理量检测元件和所述悬臂。

5.一种物理量传感器装置，其特征在于，

所述物理量传感器装置包括电路基板，

所述物理量传感器装置具有权利要求4所述的物理量传感器和与所述物理量传感器分别相同的两个物理量传感器这三个物理量传感器，

所述三个所述物理量传感器以各自的检测轴相互正交的方式安装于所述电路基板。

6.根据权利要求5所述的物理量传感器装置，其特征在于，

所述物理量传感器检测的物理量是加速度。