[发明专利]物理量检测元件、物理量传感器以及物理量传感器装置

说明书

本发明提供物理量检测元件、物理量传感器以及物理量传感器装置，温度特性优异。物理量检测元件包括：第一基端部及第二基端部；一对振动梁，在第一基端部与第二基端部之间延伸；以及多个激励电极，设置在所述一对振动梁的每一个的表面上，振动梁具有第一区域、第二区域和第三区域，第一区域位于第二区域与第一基端部之间，第三区域位于第二区域与第二基端部之间，设置在第一区域中的激励电极被配置成距第一基端部的距离为振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下，设置在第三区域中的激励电极被配置成距第二基端部的距离为振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下。

技术领域

本发明涉及物理量检测元件、物理量传感器以及物理量传感器装置。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了一种作为物理量检测元件的双音叉型压电振动片，其构成为：在被划分为三个区域的激励区域中具有激励电极，对相邻的各激励电极施加相反极性的电位的电压。

专利文献1：日本特开2014-42242号公报

然而，在专利文献1所记载的双音叉型压电振动片作为物理量检测元件而固定于悬臂等的情况下，由于设置在与基端部邻接的第一区域和第三区域中的激励电极与基端部邻接，因此有可能发生温度特性下降，导致温度特性修正误差劣化。

发明内容

物理量检测元件包括：第一基端部及第二基端部；一对振动梁，在所述第一基端部与所述第二基端部之间延伸；以及多个激励电极，设置在所述一对振动梁的每一个的表面上，所述振动梁具有第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域位于所述第二区域与所述第一基端部之间，所述第三区域位于所述第二区域与所述第二基端部之间，所述多个激励电极中的设置在所述第一区域中的激励电极被配置成：距所述第一基端部的距离为所述振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下，所述多个激励电极中的设置在所述第三区域中的激励电极被配置成：距所述第二基端部的距离为所述振动梁的全长的2.5％以上且12.3％以下。

物理量传感器包括：上述记载的物理量检测元件；悬臂，固定所述物理量检测元件；以及封装件，收容所述物理量检测元件和所述悬臂。

物理量传感器装置包括电路基板，具有上述记载的物理量传感器和与所述物理量传感器相同的两个物理量传感器这三个物理量传感器，所述三个所述物理量传感器以各自的检测轴相互正交的方式安装于所述电路基板。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的物理量检测元件的概略结构的俯视图。

图2是表示第一实施方式所涉及的物理量检测元件的概略结构的侧视图。

图3是表示物理量检测元件相对于第一区域以及第三区域中的激励电极的从基端部起到激励电极为止的长度的温度特性修正误差比率的图。

图4是表示相对于第一区域以及第三区域中的激励电极的从基端部起到激励电极为止的长度的振荡界限比率的图。

图5是表示相对于第一区域以及第三区域中的激励电极的从开始位置到结束位置的振荡界限比率的图。

图6是表示相对于第二区域中的激励电极的长度的振荡界限比率的图。

图7是表示第二实施方式所涉及的物理量传感器的概略结构的剖视图。

图8是表示物理量传感器所具备的物理量传感器元件的概略结构的立体图。

图9是第三实施方式所涉及的物理量传感器装置的分解组装立体图。

附图标记说明