[发明专利]加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法

权利要求书

1.一种加热处理装置，其特征在于，包括：

腔室；

匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；

第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；

第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；以及

匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件，

在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部。

2.根据权利要求1所述的加热处理装置，其特征在于，

所述接收构件具有：

第一端部，设置于所述第一加热部侧，对所述匣盒的所述匣盒支撑部进行支撑；以及

第二端部，设置于所述第二加热部侧，与所述第一端部相向，

在沿从所述第一端部朝向所述第二端部的方向观察的情况下，所述第二端部的前端位于比所述第一端部的前端更靠所述匣盒的所述侧面侧处。

3.根据权利要求1或2所述的加热处理装置，其特征在于，

所述匣盒还包括：

至少一个喷嘴，设置于所述匣盒的内部，向所述工件供给冷却气体；以及

筒状体，与所述喷嘴连接，且供所述冷却气体流通，其中，

所述筒状体构成所述匣盒的一部分。

4.根据权利要求2所述的加热处理装置，其特征在于，在所述第一端部与所述第二端部之间设置有供用于搬入搬出所述匣盒的搬入搬出夹具能够装卸的空间。

5.根据权利要求3所述的加热处理装置，其特征在于，所述喷嘴的喷出口设置成从所述喷嘴喷出的冷却气体被供给至支撑于所述匣盒的内部的所述工件的背面的端部附近，

所述喷出口的喷出方向与所述工件的背面之间的角度超过0°且为30°以下。

6.一种搬入搬出夹具，其特征在于，当将呈箱状且在内部具有支撑工件的空间的匣盒向如权利要求1至5中任一项所述的加热处理装置中搬入、或者从所述加热处理装置搬出时使用，所述搬入搬出夹具包括：

多个辊，与所述匣盒接触；以及

升降单元，使所述多个辊升降。

7.根据权利要求6所述的搬入搬出夹具，其特征在于，还包括连结单元，所述连结单元能够与所述升降单元连结且能够与所述升降单元分离，

所述多个辊沿所述升降单元与所述连结单元的连结方向排列。

8.一种加热处理装置的维护方法，其特征在于，所述加热处理装置包括设置有加热器以及接收构件且呈箱状的腔室，所述接收构件对在内部具有用以支撑工件的空间的匣盒进行支撑，所述加热处理装置的维护方法包括如下工序：

将在上部具有辊且能够使所述辊升降的搬入搬出夹具安装于所述接收构件；

通过使所述辊上升，将由所述接收构件支撑的所述匣盒交接至所述辊上；

使交接至所述辊上的所述匣盒在所述辊上移动，而搬出至所述腔室的外部；

将处于所述腔室的外部的所述匣盒交接至所述辊上，使经交接的所述匣盒在所述辊上移动，而搬入至所述腔室的内部；

通过使所述辊下降，而将搬入至所述腔室的内部的所述匣盒交接至所述接收构件；以及

将所述搬入搬出夹具从所述接收构件拆卸。

9.根据权利要求8所述的加热处理装置的维护方法，其特征在于，在所述搬入工序中搬入至所述腔室内部的第一匣盒与在所述搬入工序之前执行的所述搬出工序中搬出的第二匣盒不同。

10.根据权利要求8所述的加热处理装置的维护方法，其特征在于，交接至所述辊上的工序包括如下工序：对所述搬入搬出夹具所具有的与驱动所述辊的升降单元的气缸连接的切换阀进行操作，而使所述辊上升，

交接至所述接收构件的工序包括操作所述切换阀而使所述辊下降的工序。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的加热处理装置的维护方法，其特征在于，将所述搬入搬出夹具安装于所述接收构件的工序包括如下工序：将所述搬入搬出夹具所具有的使所述辊升降的多个升降单元与将所述升降单元彼此连结的多个连结单元，根据所述匣盒的大小连结为所期望的长度。