[发明专利]加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法

说明书

本发明提供一种可实现维护的容易化的加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法。实施方式的加热处理装置包括：腔室；匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；以及匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件。在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部。

技术领域

本发明的实施方式涉及一种加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法。

背景技术

存在对工件进行加热而在工件的表面形成膜等、或对工件的表面进行处理的加热处理装置。

例如，提出了一种加热处理装置，具有：处理容器，在内部保持工件；板材，设置于处理容器的内部且与工件的表面相向；板材，设置于处理容器的内部且与工件的背面相向；多个加热器，设置于处理容器的上侧及下侧；以及负载锁定室，与处理容器连结。(例如，参照专利文献1)

若设为此种加热处理装置，则可从工件的表面侧及工件的背面侧进行加热，因此可实现处理时间的缩短。

另外，由于在处理容器的内部设置有与工件的表面相向的板材，因此可使来自多个加热器的热入射至板材。入射至板材的热一边沿板材的面方向传递一边入射至工件的表面。

另外，由于在处理容器的内部设置有与工件的背面相向的板材，因此可使来自多个加热器的热入射至板材。入射至板材的热一边沿板材的面方向传递一边入射至工件的背面。

因此，在加热处理时，可抑制工件的表面温度及工件的背面温度产生面内分布的偏差。其结果，可抑制所形成的膜、或经处理的层的品质产生面内分布的偏差。

此处，在加热处理时，有时从工件释放升华物(气体(gas))。释放出的升华物成为固体而附着于板材或处理容器的内壁等。因此，需要视需要或者定期地进行除去升华物(固体(solid))的维护。

但是，板材固定于处理容器的内部，处理容器固定于负载锁定室。因此，在除去升华物时需要进行这些元件的分解与组装，因此维护所需的时间或劳力过大。另外，在进行除去升华物的维护的期间，无法使加热处理装置运转。

因此，期望开发一种可实现维护的容易化的技术。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平06-310448号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明所要解决的问题在于提供一种可实现维护的容易化的加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法。

[解决问题的技术手段]

实施方式的加热处理装置包括：腔室；匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件。在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部。

实施方式的搬入搬出夹具为当将呈箱状且在内部具有支撑工件的空间的匣盒向所述加热处理装置中搬入、或者从所述加热处理装置搬出时使用的搬入搬出夹具，且所述搬入搬出夹具包括：多个辊，与所述匣盒接触；以及升降单元，使所述多个辊升降。